双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试.pdfVIP

第 23卷 第 1O期 光学 精密工程 V01．23 No．10 2015年 1O月 OpticsandPrecisionEngineering 文章编号 1004—924X(2015)10-2860—10 双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试 赵荣丽，陈 新 ，李克天 (广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室，广东广州 510006) 摘要 ：采用直 圆型柔性铰链设计 了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台，并对其性能进行 了测试 。基于柔性 铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度 ，推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数 ；建 立了平台的动力学模型，得到了平台的固有频率解析式。基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台， 得到了平 台的优化参数 。基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立 了平 台的静动态特性测试系统 。对微纳定位平 台进 行了试验和测试，结果显示 ：刚度的理论计算值为 7．92N／~／m，试验值为 7．44N／gm，误差为 6．5 ；固有频率的理论模 型值为 349．9Hz，实验值为342．2Hz，误差为 2．3 。空载和加载为250、500、2000、2250、2500g时的平 台位移表 明加 载不均匀会对平 台输 出位移产生较大的影响，当加载为 2500g时，不均匀加载对位移 的影响量约为均匀加载 的5倍 。 此外，平 台最大位移为 56．59 m。重复定位精度测试显示 ，在施加 电压 50、100、150V时，定位平 台在同一输入 电压下 的位移最大偏差为 0．896／zm。实验结果表明，建立 的双柔性平行六连杆 的刚度和固有频率计算模型是正确 的，设计 的 微动平台的最大位移及精度可满足设计要求 。 关 键 词 ：双柔性平行六连杆 ；微动平台；刚度 ；固有频率；激光干涉仪 ；多普勒激光测振仪 中图分类号 ：TH703；TP273 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2860 Design and experimentsofmicromotion platform basedonapairofflexibleparallelsix--barlinkages ZHAO Rong—li，CHEN Xin ，LIKe—tian (GuangdongProvincialKeyLaboratoryofMicro—nanoManufacturingTechnologyandEquipment， GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) *C0rjP 0 gauthor，E-mail：chenx@gdut．edu．cn Abstract：A micromotionplatform withapairofflexibleparallelsix—barlinkagesand largerbearing capacitywasdesignedbasedonarightcircularflexurehingeanditsperformancewastested．Therota— tionalstiffnessoftherightcircularflexurehingewascalculatedbyclassicalstiffnessequation，then thestiffnessequationoftheplatform withapairofflexibleparallelsix-barlinkagesinamotiondirec— tionwasdeduced．Thedynamicmodeloftheplatform wasestablishedwith Lagrangeequation，and theanalyticalformulaofnaturalfrequencyoftheplatform wasdeduced．Themicromotion platform wasdesignedandoptimizedandtheparametersoftheflexurehingewe