掩模管理系统概述.pdfVIP

掩模管理系统概述 根据掩膜管理系统的功能要求、技术指标要求和位置空间要求，进行概念设 计和总体设计，确定总体组成和各部件功能、功能仿真、系统管理流程、单元部 件技术要求、单元部件机构方案，在此基础上，进行各部件机构设计、控制系统 软硬件设计、控制节拍设计，完成了掩模版库系统、掩模传输机械手、四象限预 对准探测系统和集散式控制系统等关键技术，完成了掩模管理系统的设计、加工、 装配、集成、调试、部分测试工作。 一、掩膜管理系统取得的主要成果 1) 系统总体技术方案 掩膜管理系统由机械、检测和控制系统组成。 机械系统包括掩膜版库系统、掩膜传输机械手和辅助设备。掩膜版库系统主 要包括标准版盒、版盒标准机械接口(SMIF) 、版匣升降台、开盒机构和保险机构， 其功能是：配合机械手自动完成上掩膜版和下掩膜版的过程。掩膜传输机械手包 括：掩膜版叉、多自由度掩膜传输精密定位机构。其功能是：完成上掩膜版和下 掩膜版的输送和对准精密定位。辅助设备主要包括：掩膜版库支撑臂、传输机械 手支架、底座、风浴系统、走线机构、配电箱、外壳、连接件等。 检测系统包括状态检测、条码阅读器、四象限预对准探测。状态检测包括： 运动控制检测、版盒安装检测、版盒开启检测、掩膜版状态检测。条码阅读器