First Offset最终调整方法.ppt

*/2 Color Filter Tech Change life with heart BM First Offset 调整方法 B2 CF Pro-Tech 2010. 06. 13 申 请 审 批 制 作 审 核1 审 核2 批 准 职位/姓名 曾望明 / / / 日 期 BM First Offset 调整方法 首先， 编辑好曝光机的新产品的Recipe，设定Mask Align，并在First Offset调整前不再更改, Mask Align登陆，详细制作过程见某某编写的《CF 曝光机 Recipe 制作技术报告Rev.2》。 下面以2D02 QCIF为例，介绍BM First Offset调整方法。 第一步：Dummy基板进行一枚，Oven 两分钟即可。做确认当前First Offset好差。 第二步：选定与曝光机PA1,PA2,PA3 三个Sensor最相近的三个TP测量点，如下图， 2D02 QCIF当选 15，44，47三个点。其相对应的设计坐标如右图。 PA1 PA2 PA3 BM First Offset 调整方法 第三步：测量点选定后，在TPCD设备上对第一步中的基板进行测量，如下图，分别测量△X′TP15, △Y′TP47, △Y′TP44。计算出A,B,C 值。(A,B,C的解释见下一页左图) 由设计坐标可知 △XTP15=365-353.68=1