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电子束加工方法 电子束加工的原理 1.以高能电子束流作为热源，对工件或材料实施特殊的加工 2.完全不同于传统机械加工的新工艺 * 电子束加工的分类 按照电子束加工所产生的效应，可以将其分为两大类： 1.电子束热效应 2.电子束化学效应 * 电子束加工的产生 电子束加工简称为EBM， 是由德国的科学家K.H.施泰格 瓦尔特于1948年发明的。 电子束热加工 电子束热效应是将电子束的动能在材料表面转化成热能，以实现对材料的加工。 * 在真空条件下，电子由电子枪的阴极发出，通过聚束极汇聚成电子束，在电子枪的加速电场作用下，电子的速度被提高到接近或达到光速的一半，具有很高的动能。 * 电子束再经过聚焦线圈和偏转线圈的作用，汇聚成更细的束流。束斑的直径为数微米至1mm，在特定应用环境，束斑的直径甚至可以小到几十纳米，其能量非常集中。电子束的功率密度可高10^9W/mm2。当电子束轰击材料时，电子与金属碰撞失去动能，大部分能量转化成热能，使材料局部区域温度急剧上升并且熔化，甚至气化而被去除，从而实现对材料的加工。通过电子束的热效应可以完成电子束熔炼，电子束焊接，电子束打孔等加工工序。 电子束的化学加工 功率密度相当低的电子束照射在工件表面上，几乎不会引起升温，但这样的电子束照射高分子材料时，就会由于入射电子与高分子相碰撞而使其分子链切断或重新聚合，从而使高分子材料的分子量和化学性质