超高真空技术课件.ppt

电子束流寿命 1. 量子涨落——与真空室尺寸有关 2. 托歇克效应 3. 电子与气体分子的散射 (1). 轫致辐射——与残余气体有关 (2). 库仑散射——与残余气体及真空室尺寸有关 (3). 电子－电子弹性散射——与残余气体有关 4. 离子俘获——与残余气体有关 5. 尘埃效应——与真空室内尘埃粒子有关 6. 尾场效应——与真空室结构有关 电子储存环要求 ≤ 1×10-7 Pa 的清洁超高真空环境 光激发解吸 同步辐射光在照射到表面，通过光电效应从器壁材料中激发光电子发射； 光电子以一定的能量轰击器壁表面，引起表面吸附气体成份的解吸； 光电解吸系数?被定义为每个入射光子通过光电解吸作用激发出的气体分子数,与表面材料与结构、同步辐射入射角、束流清洗作用有关； 经100A·h后，?＝1~2×10-6 mol/ph 气载量 Qp ~ 10-3 Pa·L/s (D=100A·h) ~ 3×QT Qp＝ 静态压强: 5×10-8 Pa 动态压强: 1×10-7 Pa 无污染 真空室截面尺寸: ～70mm(H)×35mm(V) 主要负载: 430kW 热负载; 气载. 每单元总抽速 : 2×104 L/s. SIP+NEG 700L/s×11，600L/s×5 TSP 1000L/s×9，600L/s×1，200L/s×1 储存环超高真空系统参数 真空室与压强分布 真空元件 同步辐射光 快 阀 屏蔽墙 约 8.4m 离子泵 NEG 冷规1 联接光束线 6台 溅射离子泵，370L/s 3台 NEG，900L/s 2只 冷阴极电离规 SIP电流做真空测量 冷规2 功能 规范引出光束 高热负载吸收 光束位置监测 真空保护、真空过渡 元件安全保护 人身保护 前端区真空系统 Operation without SR 模式 PS1 down 模式 Operation with SR模式 时间 束流mA 真空度1 （Pa） 真空度2（Pa） 2011-12-26 0 5.2×10-8 4.9×10-8 2011-12-30 200 7.7×10-8 6.7×10-8 前端区压强分布 真空控制与联锁 真空保护 前端快保护系统：真空快反应规G3触发快阀关闭及储存环踢束，隔离储存环与光束线真空 前端慢保护系统：超高真空规G1或G2触发真空阀门，隔离前端真空系统 真空监测、系统操作、安全联锁 真空控制界面 光束线站真空要求 前端区 与储存环接口， 1×10-7 Pa 光学元件 避免表面污染 镜面、光栅： ~ 5×10-7 Pa 晶体：~ 5×10-5 Pa 提供绝热环境 同步辐射 真空紫外光需要在真空中传播 样品 依据情况，atm ~ 1×10-8 Pa 光束线站真空状态远比加速器复杂，要求atm~ 1×10-8 Pa的清洁超高真空环境。 不同压强环境间需过渡： 差分 隔离 约 26m 同步辐射光 联接实验站 单色器 前置镜箱 后置镜箱 软X射线光束线站 13台 溅射离子泵，总抽速 4400L/s 10只 冷阴极电离规 9只 超高真空阀门 P7=3.9E-9torr 时间 束流mA 真空度1 Pa 真空度2 Pa 真空度3 Pa 真空度4 （前置镜）Pa 真空度5 （单色器）Pa 真空度6 Pa 真空度7 Pa 真空度8 Pa 2011-12-26 0 3.7×10-8 4.3×10-8 3.6×10-8 5.1×10-8 8.6×10-8 5.2×10-8 3.2×10-8 1.1×10-7 2011-12-30 200 5.1×10-8 4.5×10-8 6.9×10-8 1.9×10-7 2.5×10-7 5.7×10-8 3.5×10-8 1.1×10-7 软X光束线光栅单色器 5×10-8 Pa 真空系统 硬X射线光束线站 聚焦镜 液氮单色器 液氮冷却双晶单色器 Pressure: 2×10-5Pa 真空系统 13台 溅射离子泵，总抽速 3600L/s 9只 冷阴极电离规 8只 超高真空阀门 新一代电子储存环真空技术（MAX-Ⅳ） 物理设计及对真空系统的要求 束流发射度：0.2 nm·rad Lattice 设计： MBA；强多极场梯度。 工程挑战：高系统集成度；高稳定度；高梯度磁铁(4倍)；小孔径真空室 (1/2) ； 高准直偏差(1/2) 。 技术方案 强磁铁? 小磁铁孔径? 小真空室孔径? 分布热负载+ 分布气载 ? 铜真空室+ NEG