光学系统弥散斑参数测试.pdf

第 23卷 第 9期 光学 精密工程 Vo1．23 No．9 2015年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sept．2015 文章编号 1004—924X(2015)09-2482—08 光学系统弥散斑参数的测试 李 坤 ，陈永权，赵建科，段亚轩，李巧玲，潘 亮，龙江波，张海洋 (中国科学院西安光学精密机械研究所，陕西西安710119) 摘要 ：采用 CCD显微成像系统对光学系统弥散斑参数进行定量测量 ，并设计 了弥散斑参数 的评价算法 。首先，给出了弥 散斑参数 的定义 ，分析了弥散斑所形成 的能量等高线构成 的闭合 的连通区域 ，对 占总能量 8o 的区域计算其弥散斑直 径。然后，对该区域的边界点进行椭圆拟合，得到弥散斑圆度。提出的方法通过对光学系统在像平面所成的星点像的能 量分布的分析 ，在弥散斑圆度测试中引入了椭圆拟合 ，减少 了CCD噪声和测试环境 中的杂光等随机 因素对测试结果的 影响，提高了测试结果的置信度 。实验结果显示 ：弥散斑直径测试重复性为 0．18 m，弥散斑 圆度测试重复性为 1．65 。 提出的方法实现了弥散斑参数 的定量测试 ，满足航天项 目中光学系统成像质量控制要求。 关 键 词 ：光学系统；弥散斑参数、CcD显微测量系统、能量等高线、区域填充、椭圆拟合 中图分类号 ：TB96；TH703 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2482 M easurementofdefocusedspotparametersofopticalsystem LIKun ，CHEN Yong—quan，ZHAOJian—ke，DUAN Ya—xuan， LIQiao—ling，PANLiang，LONGJiang—bo，ZHANGHal—yang (XianInstituteofOpticsandPrecisionMechanics， ChineseAcademyofSciences，Xian710119，China) *C0rres0咒 gauthor，E-mail：wllk163．corn Abstract：Defocused spotparametersofan opticalsystem weremeasuredby a testing system with CCD microscopicimagingquantitatively，andanevaluatingmethodforthedefocusedspotparameters wasdesigned．Firstly，thedefinitionsofthedefocusedspotparametersincludingthediameterandthe roundnessweregiven．Theconnectedregionshapedbytheenergycontourofthedefocusedspotswas analyzed。andthediameterequaltotheareawhichis80 ofthetotalenergyofthede{ocusedspots wascalculated．Then，theboundary oftheregion wasfitted asan ellipseand theroundnessof defocusedspotwasobtained．Themethodintroducestheellipsefitintothedefocusedspotroundness measurementthroughanalysisoftheenergydistributionofstarpointimageonimageplane，SO that theeffectsofCCD noiseand straylightintestenvironmentonthemeasuringresultsarereducedand theconfidenceo