铸锭车间SOP培训教材.ppt

DSS炉系统概貌 Plot Data Button 可按窗口右下方的图标标志进入此窗口 Plot Data Screen （Heat） 这个趋势窗口显示5个小时的8条实时曲线，可以观察功率、3个热电偶温度、炉内压力、隔热区位置、硅溶化pyrometer的值及红色警示灯。每个曲线都可以在某个特别或干扰处放大倍率或出出现异常情况的分析。Historical Function也可观察之前5小时所记录的资料，以分析之前过程。 记得在选择其它窗口前要执行实时的撷取资料。 Plot Data Screen (Melt End) 下面的窗口显示了典型的溶化结束曲线。 Melt Pyrometer的位置显示在窗口中—绿色表示Melt Pyrometer正在观察硅溶化。 DSS炉系统概貌 DSS炉系统概貌 Melt and Growth End Trend Screen 下面的窗口可得到第二个趋势图。 这里显示了更多的功率和DS-Block温度细节，使确定溶化结束或角部晶生长结束更容易，等等。这些曲线的斜率和它们当前的数值也显示出来，可以和主参数表的trigger值相比较。为了帮助确定结束点，趋势图的比例可扩大或缩小。 DSS炉系统概貌 Power Profiles Screen 通过Power Profiles钮出现一窗口。正常运行时，模式号码、步骤号码、功率设定值和绝热区的位置每五分钟在表中存储一次。当热电偶失效时，这些表创建的功率设定的和绝热区的位置数据文件能够用来硅锭的生长。 功率对比曲线绘出了当前的模式、步骤、功率设定和绝热笼的位置。它同时显示最后一次保存的功率及隔热笼曲线和已载入表中的曲线的数值。最后的数值用与recipe的步骤和/或未改变的时间同样长的且与当前同步的最后的模式和步骤绘成曲线。考虑到每一次运行中溶化和成长结束时都几会乎有所不同，因此要作适当的补偿。当前的数据和最后的数据重叠使得决定当前的数据是否为保存为将来的“profile”变得相对容易。操作者在每次运行后需作此决定。趋势图让历史数据显示出来，以决定是否应该为将来而保留老的“profile”。 DSS炉系统概貌 Power Profiles Mode/Step Screen 按下Mode/Step Screen钮弹出此窗口。这个窗口显示了过去常保存当前和上次数据的一系列表格的细节。在上一次的表中有两种数据的指标，即日志和载入。因为它们想使得recipe中的模式和步骤号码值与上一次保存的相一致，所以当前和上次数据可能会不同。载入的指标也想使模式和步骤值与当前的一致。因此，如果热电偶失效，预存文件将继续完成晶生长循环。剩余步骤时间的秒数在下一个recipe模式/步骤转换前显示，剩余载入时间显示是剩余五分钟Log/Load “recipe”循环的秒数。 DSS炉系统概貌 Mode/Step Screen -Mode/Step Invalid 有时候这个指标达到了表格尺寸的最大值749, 表示不能进行精确的匹配。当从正常recipe步骤改变到上次保存程序或操作者在recipe模式或步骤往前或往后跳转时这种情形会出现。唯一的问题是在Power Profile Mode下的成长过程中伴随热电偶的失效。出现这种情况，警告会响起同时Mode/Step窗口会跳出。程序会进入暂停模式。出现的重置钮可使指标归零，让软件重新找到匹配的模式/步骤（只有Load Time Remaining回零才能找到匹配的模式/步骤）。必须非常小心！因为程序在正常的RECIPE步骤一开始会寻找匹配的步骤，因此，时间和数值不一定很协调。让正常的recipe在选择步骤之时就重新开始，强廹两个“recipes”一致。记住重新开始程序。 DSS炉系统概貌 Disable Power Profile Button 如果炉子正在运行Power Profile模式且热电偶修理好了，用热电偶安装好后出现的Disable Power Profile 按钮返回正常的recipe控制。 手动转换到温度控制或调整功率或RECIPE来转换在小心！功率设定值将保留当前的数值到下一个recipe步骤，这会引起长晶问题。 运行结束后，Power Profiles会自动弹出并询问操作者是否接受当前记录的文件。若选择Do Not Accept Profile（不接受），按钮和文件会完全消失