热光VOA金薄膜互连线间距优化建模与仿真.pdf

第 32卷第 1期 湖 北 Z- 业 大 学 学 报 2()17年 o2月 V(11．32Nt．1 ． JournalofltubeiUniversityoflechnology Feb．2()j7 [文章编号]l003 r4681(2()I7)01oo97()4 热光 VOA金薄膜互连线问距优化建模与仿真 丁善婷 ，徐 蕾，黄 飞 (湖北工业大学机械工程学院．湖北 武汉 l30()68) [摘 要]随肴luf器件功能的不断增强 ．薄膜 连线个数和排布惭 也 逐渐增加 ，他 i!器件的 怵尺 ，J 人． 利于器什的小’化和集成化 而优化薄膜互连线 排布足实现器什小J型、微型化的h设‘力法之 。 鉴 j热光 V()A 薄膜 {：连线加热卡I!刮．运 』¨有 限庀仿 软 ／1： 到金薄膜互连线JJJ1热 卜聚合物光波 濉 瞍分 ． 分析 多}1{ 金 怏 f：近线JJu热下不川I }】1J的‘交互作用 。仿真结果表明：随符 {连线间距缩小 ，多小 f近线JJlJ热所 ： 的交 巨f1川增 ·1()(!ml 连线M 订优化空 间。 据所建模 型试制样m11t．刈样‘品进行可 验 。 验 明．f忙化 薄膜 {适线 l1I】 排布 办法 址仃之 r效 的。 [关键词]热光 V()A；金薄膜 ，连线 ；交互作 {『j；仃 无仿 [中图分类号]TN928 [文献标识码]A 热光救J器件具有尺寸小 、驱动功率低、成本低 射率．从 使光信号衰减。 为热光 V()A结卡勾 和易于7Jl】l制作等优点 ．r1 ltt：以来受到了Jl泛 的 图，输入秆j输m单模波 导 光纤 连 Ⅱ 彳卡I】 的 天注 。然 随着器件的小断发展 ，容纳的光纤通 匹配系数．JJ』J热电极与多摸波 导所 平 i成一定角 道不断增JJlj，导敛 J，器件 体 寸的 口益扩人。例 度 ，以使光信号的衰减 比例符合设汁 求。Itz儆 如．某公 d·乍产的一款热光删叮渊光衰减器 ．L期产 J『ll热器 品为 16通道 ． 改进产品增加刮 2()通道时 ．器件的 整体尺寸增JJllJ 1．5倍。K此以往，必然不利f器 竹 进 ◆ [ m ‘ 件小型化、微型化发展。 m 根 ：热光效应器件的T作原理 。每一通道都需 要 一个薄膜_连线允当加热器 的角色 ，以建 温度 梯度 ．实观 比嵌。关于薄膜 连线特征尺寸减 小 tj _『性 的 题已 大量研究 ．frI埘于薄膜互连线 Inj 距 优化的研究较 少。冈此 ．为lr探究互连线 问距 对 比波导交 用的影 响，本义分析 J，在金薄膜 1连 线JJJ【热下聚介物光波导 的温度梯度分布 ， 此 础 上．对多 f连线加热所产生 的交互作用进行 _r研 (b)，匕衍 靶减 究 ．从 fJIJ确 r 连线 问 埘 ；}}}什 I作 的影响规律 。 图 1 热光 V()A I作 理 1热光 V()A工作原理 通电 ．波导折射率冈濉使升尚而减小 ．If．折射牢梯 度方向 光束成 角，这时 多模 域的光束就会 热光 V()A足 ·种可洲光衰减器，其工作原理 以2 角 进行反射。 1反身fl角瞍火于光fI 于热光效 实观