28.波长调制外差散斑干涉仪.PDF

產學合作成果專刊 28. 波長調制外差散斑干涉儀 李朱育副教授、林坤億 、盧洺霈 國立中央大學 光機電工程研究所 摘要 奈米科技的發展主因在於 1980年代分析儀器的進 步，對於奈米尺度的觀察與分析、物化性質研究和操控 本文提出一套奈米級面內位移量測技術－「波長 元子和分子的工具與能力都有非常重大的幫助。掃描穿 調制外差散斑干涉儀」。利用雷射二極體波長可調制的 隧顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope, STM)、原 特性，以鋸齒波之電流調制，使其波長產生週期性的變 子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)與近場 化，再結合巧妙的光路設計，利用刻意製造的光程差，