N2-H2容性耦合等离子体电非对称效应的particle-in-cell-物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 18 (2014) 185205 N -H 容性耦合等离子体电非对称效应的 particle-in-cell/Monte Carlo 模拟 郝莹莹 孟秀兰 姚福宝 赵国明 王敬 张连珠 (河北师范大学物理科学与信息工程学院, 石家庄 050024) ( 2014 年3 月12 日收到; 2014 年5 月7 日收到修改稿) H -N 混合气体电容性耦合射频放电在有机低介电系数材料刻蚀中具潜在研究意义. 采用particle-in- cell/Monte Carlo 模型模拟了双频(13.56 MHz/27.12 MHz) 电压源分别接在结构对称的两个电极上的H -N 容性耦合等离子体特征, 研究了其电非对称效应. 模拟结果表明, 通过调节两谐波间的相位角, 可以改变其