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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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飞秒激光在空气和水中对硅片烧蚀加工的实验研究!
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王 锐 杨建军 梁春永 王洪水 韩 伟 杨 阳
!）（南开大学现代光学研究所，光电信息科学技术教育部重点实验室，天津 $%%%!）
# ）（河北工业大学材料科学与工程学院，天津 $%%!$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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采用 ， ， — 的钛宝石激光脉冲对单晶硅样品在空气和水溶液环境中的烧蚀加工特性进行
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了研究 实验观察到了超短脉冲激光在空气氛围中烧蚀形成的双层环状结构，分析揭示了加工区域中心和边缘的
4
烧蚀物理机制分别为热熔化和库仑爆炸，并测量了双层环状结构半径随入射激光能量、脉冲数及持续时间等的变
化关系，结果表明获取较大深 宽比的加工效果需选择小能量脉冲激光的多次作用 在水溶液环境中，实验发现飞
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秒激光在样品表面诱导产生了亚微米量级的多孔状结构，而皮秒激光则更容易实现对硅表面的非热性去除 这是
4
由于激光诱导的光机械应力和空泡效应随脉冲宽度变大而增强所致，在实验上确立了区分这两种不同加工状态的
临界脉冲宽度4
关键词：飞秒激光，硅片，激光加工
： ， ，
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也有效地减弱了加工过程中的氧化现象4 另外，
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等 分析比较了 ， 的激光在真
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空、空气和水环境中对硅表面的烧蚀特征 实验发现
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