冷凝泵机械结构与工作原理.docVIP

冷凝泵机械结构及工作原理 一、简介 冷凝泵工作原理是通过冷凝或者俘获分子来实现真空。它由一些低温的表面（-193oC- -255）来冷凝气体分子。另外，冷凝泵也通过带有活性炭的表面吸收不能被冷冻的气体分子。 冷凝泵机械结构 1.压缩机 将氦气压缩之后送到冷冻机里 2.冷冻机 使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀，冷却作用 3.泵壳 泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸空获得真空 上述的三个系统组成一个整体的冷凝泵系统运转。　 二、冷凝泵机械部件结构及功能 一．导流板 材料: 无氧铜; 温度: 80K(一级冷头温度) 结构: 人字纹形,百叶窗形。 功用：1.凝缩排除水蒸汽（H2O），有机物（CO2） 2.防止热辐射进入辐射找 辐射罩 材料: 无氧铜 温度: 80K。 功用：1.辐射罩包裹着冷头 2.阻挡外来的热辐射，外侧为了反射热辐射，因为实施了反射率很高的镍喷涂，内侧 为了阻挡热辐射反射到冷板,实施了能吸收辐射能的黑化处理涂层。 冷板 材料: 无氧铜 温度: 15K (二级冷头温度) 结构: 9片柱形, 5片锥形 功用：分为外表面冷凝排除气体部分 和 内表面活性炭吸附排除气体部分 1.O2，N2，Ar等气体分子挡在冷板外表面并凝缩，H2分子在冷板外表面被反射，被活性炭吸附。 温度计 结构：1.H2蒸汽压温度计 2.半导体温度计