扩散3-4管方阻异常排查研究.pptxVIP

扩散3-4方阻异常排查报告; 异常描述 原因分析 原因排查以及确认 小结以及后续计划;;; 3月29日发现3-4、3-5、3-6管整体方阻异常偏低，和设备一起检查磷源温度、尾排各管接触等，对尾排开大，降低温度试片失败；和设备一起测试尾排抽风并和其它管作对比无异常。; 3月30日对3-4管进行小氮鼓泡检查，发现3-4管小氮鼓泡偏小，更换小氮流量计后进行试片，效果不明显；将3-4、3-5、3-6降低小氮流量、降低大氮流量、增大小氧流量后进行试片，方阻有所提升（达到40），但仍达不到正常值，波动较大，总体方阻偏小，结合流量减小基础上加大排风开度试片方阻达到55-65之间，3-5和3-6可以正常生产；3-4方阻40，且波动难以控制，下午找设施人员查找外围抽风送气（小氧、大氮、小氮）是否堵塞等情况，无异常；3.30夜班凌晨开始将3-4降温；已经确认小氮流量无异常、外围排风无异常。; 3月31日早上对降温后的3-4管重新进行温度自整定，自整定后月12:30开始试片，试片方阻仍然偏低。下午对3-4（异常管）和4-1（正常管）进行小氧和大氮的流量鼓泡检查对比，4-1鼓泡正常，检查3-4时不鼓泡，检查管路时，发现当手碰触到3-4炉管后的大氮和小氧的管子合并处的三通阀门时，突然出现部分鼓泡，拧紧次阀门后鼓泡正常，试片后3-4管方阻恢复正常。 小氧、大氮流量异常，修复后正