电子工艺简介要点.ppt

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2017-06-05 发布于湖北
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电子工艺简介要点

数据分析结深硼扩后电性裂片TRR良率一·结深 ﹥1200﹤1.2﹤280 ﹥800﹤1.2﹤130 ﹥600﹤1.2﹤120 ﹥1200﹤1.7﹤70 ﹥550﹤1.25﹤48 ﹥350﹤1﹤48 二·硼扩后电性裂片TRR良率小结数据对学习及分析的重要性抓住细节 * N 50 耐压区 130 P 70 1263℃/17H 275-285 N 60 耐压区 80 P 85 1263℃/29H 250-260 N 60 耐压区 80 P 80 1263℃/27H 240-255 N 70 耐压区 110 P 65 1263℃/29H 270-280 N 85 耐压区 55 P 85 1263℃/29H 255-265 N 85 耐压区 40 P 95 1263℃/29H 240-260 85 40 95 1255℃/42H 220-223 1250℃/12H 240-260 ﹥350﹤1﹤48 85 55 85 1255℃/37H 225-228 1250℃/12H 255-265 ﹥550﹤1.25﹤48 70 110 65 1255℃/17H 240-245 1250℃/10H 270-280 ﹥1200﹤1.7﹤70 60 80 85 1263℃/27H 220-225 1200℃/200分 240-255 ﹥600﹤1.2﹤120 60 80 85 1263℃/29H 225-235 1200℃/200分 250-260- ﹥800﹤1.2﹤130 50 130 70 1263℃/17H 250-255 1200℃/200分 275-285 ﹥1200﹤1.2﹤280 N 耐压区 P 结深硼扩硼扩前厚度磷扩原片厚度电性 0.866-0.871 400-600 1255℃/42H 220-223 1250℃/12H 240-260 ﹥350﹤1﹤48 0.875-0.879 600-800 1255℃/37H 225-228 1250℃/12H 255-265 ﹥550﹤1.25﹤48 0.890-0.899 1000-1200 1255℃/17H 240-245 1250℃/10H 270-280 ﹥1100﹤1.7﹤70 0.882-0.899 800-1000 1263℃/27H 220-225 1200℃/200分 240-255 ﹥600﹤1.2﹤120 0.885-0.899 900-1200 1263℃/29H 225-235 1200℃/200分 250-260- ﹥800﹤1.2﹤130 0.918-0.930 1400-1600 1263℃/17H 250-255 1200℃/200分 275-285 ﹥1200﹤1.2﹤280 TRR VF PIV 硼扩后电性硼扩硼扩前厚度磷扩原片厚度电性％ 12％ 6％ 0％ 1％ 81％ 1.2％ 7％ 0.8％ 1.6％ 8.4％ 82％ 1.5％ 7.2％ 0.8％ 0％ 0.3％ 90％％ 6.7％ 2.6％ 0％ 2.3％ 88％ 3.2％ 7％ 2.5％ 1.6％ 0.7％ 85％ 0.8％ 6.6％ 0.7％ 0％ 0％ 92％％ 7.4％ 0.5％ 2.6％ 0.6％ 88％ 0.7％ 6.5％ 0.6％ 1.2％ 9％ 82％碎次边角亮边亮角 TRR﹤ TRR﹥ 良品 *