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2017-06-05 发布于湖北
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高功率激光装置终端楔形透镜的测量与调试_邵平

第42卷第4期中国激光 Vol.42,No.4 2015年4月 CHINESEJOURNALOFLASERS April,2015 高功率激光装置终端楔形透镜的测量与调试 1 2 1 1 1 邵平夏兰赵东峰居玲洁焦兆阳 1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室,上海 201800 2 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所,上海 201800 摘要楔形透镜是高功率激光系统终端光学组件的关键元件，也是较为特殊的光学元件，楔形透镜的楔角测量关系着高功率激光的聚焦性能。终端组件中楔形透镜的加工角度、工作姿态一旦偏离了特定的工作角度，终端组件会引入大的面形偏差，楔形透镜特殊的形状不利于楔形透镜面形、楔角的测量。提出了一整套楔形透镜测量调整方案，包括楔形透镜加工过程中的测量方案，楔形透镜安装过程中的离线测量与调整方案，以及终端组件上线调试过程中的在线调试测量方案。该套方案的实施能够保证楔形透镜的加工精度，及组件中楔形透镜能够工作在最佳工作姿态，保障了高功率激光系统终端组件的光束质量和定位精度。关键词光学器件;高功率激光装置;终端光学组件;楔形透镜;楔角误差;塔差中图分类号 TN248.1 文献标识码 A doi: 10.3788/CJL201542.0408006 MeasurementandDebuggingofWedge-ShapedLensinHighPower LaserFacility 1 2 1 1 2 ShaoPing XiaLan ZhaoDongfeng JuLingjie JiaoZhaoyang 1NationalLaboratoryonHighPowerLaserandPhysics,ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics, ChineseAcademyofSciences,Shanghai201800,China 2ShanghaiInstituteofLaserPlasma,ChinaAcademyofEngineeringPhysics,Shanghai 201800,China Abstract The wedge-shaped lensis the key and special optical component of the final optics assembly (FOA)inhighpowerlaserfacility.Thewedge-shapedlenswedgeanglemeasurementplaysaremarkablerole infocusingperformanceofhighpowerlaser.Ifprocessingangleandworkattitudeofthewedge-shapedlens deviatefromthespecificworkangle,bigsurfacedeviationwillbeintroducedintotheFOA.Specialshapeof thewedge-shapedl