VUVEUV标准探测器装置和传输标准探测器的标定.pdfVIP

第 卷第 期 高 能 物 理 与 核 物 理 ， 29 4 VOI.29 NO.4 年 月 ， 2005 4 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS Apr. 2005 VUV / EUV 标准探测器装置和 传输标准探测器的标定! 1 1 1 1 1 1 1 郑雷 崔明启 赵屹东 朱杰 周克瑾 陈凯 赵佳 1 1 2 2 孙立娟 马陈燕 周洪军 霍同林 1（中国科学院高能物理研究所 北京 100049） 2（合肥国家同步辐射实验室 合肥 230029 ） 摘要 对研制的安装在合肥国家同步辐射实验室（NSRL）计量光束线上的VUV / EUV 标准探测器装 置进行了传输标准探测器的首次标定工作 实验选取了 个能点 ， 和 ，在这 . 3 17. 625nm 6. 8nm 92nm 3 个能点处分别标定光电二极管，得到其相应的量子效率 结果表明：在同一能点多次标定结果的重 . 复一致性很好，相对标准偏差在 — 的水平；但是与美国国家标准计量局（ ）标定过的光 1% 14% NIST 电二极管的量子效率比较，短波17. 625nm 的标定结果较好，而6. 8nm 和92nm 波长的结果差距偏 大. 偏差主要来自光源稳定性和光谱纯净度的影响. 关键词 同步辐射 VUV / EUV 标准探测器 传输标准探测器 标定 量子效率 1 引言 国家同步辐射实验室二期工程增设了计量线，开展 了利用同步辐射光源作为VUV / EUV 标准光源的工 随着真空紫外和极紫外（VUV / EUV ）科学的发 作. 展，其在光学、生物科学、微电子学、材料科学、表面 进行传输探测器标定的关键是要有理想的光源 科学、天体物理学、激光等离子体诊断技术及同步辐 和对光源光强的绝对测量. 同步辐射光源以其具有 射应用等领域越来越显示出巨大的应用前景 在许 高亮度、光谱连续、高偏振度和光源特性的可计算性 . ［］ 多应用领域，如：极紫外深度光刻、农作物软 射线 的优点被普遍认为是理想的光源4 . 同步辐射是具 X 辐照、惯性约束聚变的探测器灵敏度标定、托卡马克 有很宽光谱的白光，在绝大多数应用中必须经过一 等离子体诊断用探测器标定、半导体材料改性辐照、 系列的光学元件进行单色、聚焦