传感器10预案.ppt

4.光电位置敏感器件（PSD） 半导体位置探测器（Position Sensitive Detector）简称为PSD，它能连续准确地给出入射光点在光敏面上的位置。 PSD分为一维PSD和二维PSD，分别可确定光点的一维位置坐标和二维位置坐标。 1）PSD的工作原理 如图所示，其PN结是由重掺杂的P+ 型半导体和轻掺杂的N型半导体构成，和一般的PN结一样，由于载流子扩散，在结区建立一个与结面垂直的由N指向P+的自建内电场。但由于P+ 为重掺杂，载流子密度大，故电导率比N区高。因此当入射光照射A点时，光生载流电子和空穴集中在A点附近的结区，在自建场作用下，空穴进入P+区，由于电导率高而很快扩散到整个P+ 区，成为P+ 近位等电区位，而在A点附近N区的电子，由于其电导率低而不易扩散，仍集中在A点附近，具有高的负电位，因此形成一个平行于结面的横向电场，常称为横向光电效应。 实用的PSD不是简单的P+N结，而是做成P+IN结构，具有—般PIN光电二极管类似的优点，即由于I区较厚而具有更高的光电转换效率、更高的灵敏度和响应速度。其工作原理仍是基于横向光电效应。如图所示，表面P+层为感光面，两边各有一信号输出电极，中间为I层，底层的公共电极是用来加反偏电压的。当入射光照射到光敏面上某