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超級放大鏡~電子顯微鏡 洪玉容 朝陽科技大學波錠紀念圖書館 “余憶童稚時，能張目對日，明察秋毫。見藐小微物，必細察其紋理，故時有物外之趣。””藐小微物”的觀察，其紋理細察的程度已經超乎前人所能想像。 電子顯微鏡可分為掃瞄式電子顯微鏡(圖一左)及穿透式電子顯微鏡(圖一右)兩種。掃瞄式電子顯微鏡是利用入射電子束激發分析樣品表面，產生二次電子做為成像來源，主要可用來觀察樣品的表面形態，如圖二就 圖一(左)掃瞄式電子顯微鏡; (右) 穿透式電子顯微鏡 圖二 彩色掃瞄式電子顯微鏡下的一隻熱帶毛毛蟲（鳞翅目）的頭部~~不過一般比較常看到的掃瞄式電子顯微鏡的影像是灰階的不是彩色的喔！ 圖三 (左) 奈米碳管高解析穿透式電子顯微鏡影像; (右) 奈米碳管模擬示意圖。 電子顯微鏡理論起源於1924年，de Broglie氏發表之質波說，即物質同時具備有波及粒子兩種特性。由於電磁波與光波的行為相當類似，電磁波的波長較光波短，對於影像解析度而言，隨著光源波長變短，影像的解析度會隨之提高。於1931年，Max Knoll 和 Ernst Ruska 建製了第一台穿透式電子顯微鏡，緊接著Siemens公司於1939年生產第一部商用穿透式電子顯微鏡。隨著電子顯微鏡的發明，也使得各項科學研究領域的分析，由毫米(mm)、微米(?m)提昇到奈米(nm)及次奈米(埃: ?)的?m = 109 nm = 1010 ?。這樣似乎還感覺不出來奈米有多小，換1奈米 = 十億分之1米(10-9 meter)，約為分子或DNA的大小，或是頭髮寬度的十萬分之一。1924 de Br?glie氏發表質波說(理論) - 1931 Max Knoll 和 Ernst Ruska製作第一部穿透式電子顯微鏡(TEM) - 1939 Siemens商售第一部穿透式電子顯微鏡 - 1964 第一部商售掃描式電子顯微鏡(SEM) 電子顯微鏡在現今學術界及產業界應用上已經相當的普遍，學術界諸如各研究單位及大學理工相關系所，業界諸如光電產業、半導體產業、面板產業等，在基礎研究及產品製程的監控上皆已大量使用電子顯微鏡，做為各種研究及製程參數調整的重要參考資料。展望未來，隨著科技持續向前邁進，電子顯微鏡在各種領域的應用上將更扮演著不可獲缺的角色。 參考資料： ，上網日期：，網址：/wiki/%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C上網日期：，網址：.tw/AD/ADImages/AAADDD/MCLM100/download/equipment/EM/FE-SEM/FE-SEM005.pdf，上網日期：，網址：0/www/course/tem-2.pdf：.tw/upload/81204/nm/%E5%AF%A6%E4%BD%9C%E8%AA%B2%E7%A8%8B%E7%B0%A1%E4%BB%8B.htm 2.圖二/view/66095/93413 3.圖三/cws/article/lab/39807 館藏資料： 書名/作者： / 邵淑娟...[等]主編 索書號 88/record=b1432032 書名/作者： / 威考夫著; 李思陶譯 索書號 368.5 4067 書名/作者： / 焦匯勝, 李香庭著 索書號 88/record=b1622717 書名/作者： : 初探電子顯微鏡 = The explicit nanoworld / 章效鋒著 索書號 336.2 0008 書名/作者： / 郭素枝編著 索書號 ?88/record=b1351825 朝陽科技大學 波錠紀念圖書館電子報 第 255 期 1/4