O陶瓷靶材的制备-武汉理工大学学报.PDFVIP

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2017-06-06 发布于天津
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O陶瓷靶材的制备-武汉理工大学学报.PDF

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O陶瓷靶材的制备-武汉理工大学学报

第卷第期武汉理工大学学报 36 6 Vol.36 No.6 年月 JOURNALOFWUHANUNIVERSITYOFTECHNOLOGY Jun.2014 2014 6 췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍 : / doi10.3963 .issn.1671-4431.2014.06.002 j M Zn O陶瓷靶材的制备 x 1-x g 1 1 2 1 1 1 1 1 , , , , , , , 高庆庆冯武昌张忠健肖超皮陈炳蔡雪贤尚福亮杨海涛 ( , ; , ) 1.深圳大学材料学院深圳 5180602.株洲硬质合金集团有限公司硬质合金国家重点实验室株洲 412000 : , 摘要采用传统的常压固相烧结方法制备了陶瓷靶材研究了掺杂量及烧结温度对陶瓷靶材 M ZnO M O M ZnO g g g 、、。 , , 的微观结构表面形貌力学性能和致密度的影响通过 XRD测定靶材相结构 SEM观察靶材的断面形貌万能实验机 , , 测量靶材的抗弯强度维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度阿基米德排水法测量靶材密度等方法对 M ZnO靶材的性 g 。 , 、 , 能进行了分析表征结果表明当掺杂量为 12% 烧结温度为 1450℃时所制备的陶瓷靶材最优其各项性能均表现良 , , , , 好抗弯强度为94.56MPa维氏硬度为 250.70HV0.3相对密度为 96.65% 并在最佳条件下制备出M O摩尔掺杂比 g , , , 、为的陶瓷靶材采用射频磁控溅射方法于室温条件下在石英衬底上制备了透明薄膜利用 12% M ZnO M ZnO XRD g g , 、 , ,