等离子体化学化工中的一些基本问题.pdfVIP

维普资讯 禹孑体化 中的一些基本 题 漆继红 罗义文 印永祥 戴 晓雁 (四川大学化工学 院，四川成都 610065) 摘要 评论 了等离子体化学化工过程 的一些共性 ，提 出当前低温等离子体应用领域 中需要解决的一类基本 问题 ；加 强等离子体化学化工过程 中热力学性质 、输运性质和化学反应动力学性质 的基础数据 的理论和实验诊断研究、不断 开发具有各种用途 的等离子体发生器和反应器 。 关键词 等离子体 热力学 动力学 反应器 随着等离子体技术的不断发展和完善 ，等离子体 地从 电场获得 能量 ，并通过频繁 的碰撞使分子裂解为 技术被越来越广泛地应用于各种领域 ，并取得许多令 原子和 自由基团，或使分子 、原子和 自由基 团受激而 人鼓舞的成果 。如等离子体化学气相沉积 (PVCD)， 处于激发状态 。因此从化学角度讲 ，低温等离子体可 高性能陶瓷粉体制备 ，化学合成 ，污染源处理 、薄膜制 以非常方便地为反应体系提供所需的活化能，使许多 备 、材料表面改性 、半导体集成 电路刻蚀等 l J。但 通常不能发生 ，或需要极其苛刻 的条件才能发生的化 是 目前 的情况是 ，等离子体 的技术开发走在相关 的应 学反应在等离子体 中得 以实现 。 用基础研究 的前面 。由于缺少工程所需 的基础数据 ， 低温等离子体可分为热平衡等离子体和非平衡 许多实际问题的解决 ，包括过程参数 的选择和优化 ， 等离子体两大类 。热等离子体 中电子和重粒子温度 往往依靠反复试验和凭借经验来实现 。这一点极大 基本相等 ，体 系 的整体温度较 高 ，通 常在数 千 K 以 地 限制了等离子体应用技术 的发展及其工业化应用 。 上 ，如 电弧放 电等离子体 。非平衡等离子体 中电子与 在等离子体技术成功地应用于工业生产之前 ，必须解 重粒子的温度差异较大 ，往往 电子 的温度达上万 K 决各种各样 的问题 。特别是 ，由于这些应用大多涉及 时，重粒子的温度还处于室温或稍 比室温高 ，如介质 化学反应和化工过程 ，因此 ，揭示在等离子体特殊状 势垒放 电和辉光放 电等离子体 。但是 ，无论热等离子 态下化学反应和化工过程 的新特点和新规律 ，对于低 体还是非平衡等离子体在化学化工 中都具有广泛 的 温等离子体应用基础研究显得尤其重要 。 应用 。。。例如 ，用介质势垒放 电裂解天然气合成 乙 本文结合介质势垒放 电和 电弧放 电在天然气化 炔 、乙烯 ，处 理有毒有害气体 ，对高分子材料表面改 工 、煤化工和超细 陶瓷粉体 【，l8,9,11J制备 中的应用 ， 性 ；用辉光放 电刻蚀半导体集成 电路 ，增强化学气相 着重讨论有等离子体作用 的化学化工过程 的一些共 沉积 ，镀制聚合物薄膜或金属陶瓷薄膜 ；用 电弧等离 性 ，提 出当前低温等离子体应用领域 中需要加强解决 子体裂解有毒有害气体 ，裂解煤制基本有机物 乙炔 、 的一些基本 问题 。 乙烯 ，制备超细 陶瓷粉体氮化钛 、氮化铝等。 上述研究工作虽然 内容广泛 ，但是从化学角度讲 低温等离子体及其应用 涉及化学分解 、聚合 、氧化 、还原 ，从化工角度讲涉及 低温等离子体通 常指处于部分 电离状态的导 电 等离子体 相下 的气一气 、气一 固、气一液反应和反应 气体 。在这种电离气体 中，电子 、离子可 以持续不 断 器 中特殊介质 的传递现象 。因此 ，从基础研究出发可