双粒子束聚焦式离子束(DB-FIB)技术在材料检测分析上之-材料世界网.PDFVIP

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2017-06-06 发布于天津
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双粒子束聚焦式离子束(DB-FIB)技术在材料检测分析上之-材料世界网

(DB-FIB) The Application and Development of DB-FIB Techniques in Characterization and Analysis on Materials M. W. Lin1 S. C. Lo2 J. Y. Chu2 C. S. Tsai2 L. J. Lin3 J. T. Yeh3 1 2 3 (MCL/ITRI) (DB-FIB) E-beam I-beam DB-FIB CNT TEM Abstract As the development of nano-technology, DB-FIB gradually plays an indispensable role in characterization and analysis on materials. By means of its high resolution of E-beam and powerful etching capability of I- beam, this tool can make nano-materials easier to characterize and analyze. This article will focus on the DB-FIB tool which has been built up in MCL, ITRI for its technical development associated with CNT, nano-materials, single particle of lithium ion battery, SPM tip and TEM sample preparation, and fabrication of nano-structures with optical measurement. The techniques of different perspectives will be elaborated in this article. Finally, the recent development of DB-FIB techniques will be illustrated in the content as well. /Key Words (DB-FIB) (E-beam) (I- beam) (CNT) (Lithium ion Battery) ( TEM Sample Preparation) .tw96 12 252 143 (DB-FIB) (E- beam)(I-beam) DB-FIB 230