周期排列的H空气槽光学特性研究.PDFVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ９ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．９ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ９ Ｓｅｔｅｍｂｅｒ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｐ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００９１６０２４ 周期排列的 空气槽光学特性研究 Ｈ １ １ １ ２ 孙梅 ，邢素霞 ，陈媛媛 ，徐德刚 （ 北京工商大学 计算机与信息工程学院，北京 ） １ １０００４８ （ 天津大学 精仪学院激光与光电子研究所，天津 ） ２ ３０００７２ 摘 要：利用电子束直写系统和反应离子束刻蚀的方法制作了周期性排列 形空气槽 样品的参 Ｈ ． 　 量：金膜的厚度为 １２０ｎｍ，石英基底的厚度 ０．８ｍｍ（其中有 ５ｎｍ厚的铬层），样品是由３０×３０个 单个 形周期排列形成的，总体尺寸为 ２ 每个 形之间的周期为 ， 形的臂 Ｈ ４０×４０ ｍ． Ｈ １．１ ｍ Ｈ μ μ 长均为５００ｎｍ，空气槽的宽度为 １２０ｎｍ．然后用实验的方法测量了在近红外波段的透过曲线，在 近红外波段 处的透过率约为 ，用传输矩阵的方法对 形空气槽结构进行了理论模 １．６ ｍ １６．３％ Ｈ μ 拟，实验与理论模拟结果吻合较好 随后研究了当入射光的偏振方向与 形结构的长轴之间的夹 ． Ｈ 角分别为 、 、 、 和 时透过曲线的变化情况 通过实验和理论表明，表面等离子体在这 ０°３０°４５°６０° ９０° ． 种特殊的结构中仍然存在，并且在光的增强透过起着决定性的作用． 关键词：亚波长，聚电子束直写系统； 形空气槽 Ｈ 中图分类号： ， 文献标识码： ： ／ Ｏ４８５Ｏ４３３．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１６０２ 　　 　　　　 ｇ ［ ］ ０ 引言 作者们极大的关注 ４９ ．在亚波长