新星NanoSEM50FEI公司的扫描电子显微镜.PDFVIP

产品数据 Nova™ NanoSEM 50 系列 可对最广范围样品进行超高分辨率表征和 分析，极其简便！ 精确真实的纳米尺度信息。卓越的高电压和低电压衬度。100 V 以下的高分辨率成 像。快速分析。使用低真空对大多数带电或污染样品进行超高分辨率研究。这些均 为Nova™ NanoSEM 场发射扫描电镜多年前即已具备的基本特征。 Nova NanoSEM 50 系列产品令一切更有可能。除先进的光学 （包括双模最终透 镜）、SE/BSE （二次电子/背散射电子）透镜内探测和射束减速的强大组合功能之 外，Nova NanoSEM 50 系列产品采用了最新一代高灵敏度伸缩式SE/BSE 和STEM 探 测器的全新套件，并具备多功能SE/BSE 过滤功能，最大程度地优化重要信息。智 能扫描模式可用于最大程度减少假像。样品清洁对于低电压高分辨率成像至关重 要，可使用FEI 整合解决方案 （使样品表面免于碳氢化合物污染）加以维护。Nova NanoSEM 450 配置了最高200 nA 射束电流和大型电动倾斜样品台，分析能力因此也 大幅提升。一切均不会影响Nova NanoSEM 的高分辨率性能。 Nova NanoSEM 50 系列产品可使用其独一无二的低真空能力表征或分析更多样品， 主要优点 包括大多数非导电或污染材料。由于FEI Helix™ 探测器技术，低真空表征可一直扩 • 场发射SEM （带超稳定且高电流Schottky 电 展至超高分辨率。大小样品均可轻易置入大型样品室，并置于Nova NanoSEM 高度 子枪） 精确且稳定的样品台上。此外，高清相机和相关导航装置可帮助迅速发现兴趣所在 • 先进的光学和探测性能，包括沉浸模式、射 区域并移至相应区域。 束加速、透镜内TLD-SE 和TLD-BSE、DBS 和 STEM，以实现最佳信息和图像优化选择 至于nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列产品可提供最全面的整合工具集合， • 射束着陆能量、低至50 V 包括16 位板载数字图案生成器和专用制图软件、高速静电射束熄灭装置以及用于 • 1.4 nm @ 1 kV ，非射束减速 直接电子束写入式纳米结构的气体注射系统。Nova NanoSEM 650 样品台配置了压电 • 全球唯一真正的高分辨率低真空场发射扫描 电子显微镜(FESEM) ：1.8 nm @ 3 kV 、30 Pa 驱动马达，可在150 x 150 mm 移动范围内完全实现更细致且更高的XY 可重复性。 • 最高200 nA ，适于高或低真空分析 各种挑战性材料均可取得令人瞩目的结果，尤其是纳米颗粒和粉末、纳米管和纳米 • 集成的16 位扫描/制图引擎 线、塑胶电子、玻璃基板、有机材料和金刚石薄膜等。样品或信息探寻的应用性 • 超洁净、无油滚动和涡抽气真空系统 • 150 x 150 mm 高度精确、高度稳定的压电驱 和多功能性令Nova NanoSEM 50 系列产品成为最苛刻纳米尺度表征和分析的完美解