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维普资讯 特色功能材料——透明导电氧化物薄膜 ／王 华 ·1O1 · 特色功能材料——透明导电氧化物薄膜 王 华 (桂林电子工业学院信息材料科学与工程系，桂林 541004) 摘要 透明导电氧化物(TC0)是一种特色鲜明的功能材料 ，以其接近金属的电导率、可见光高透射率、红外区 高反射率及其它半导体特性，可应用于平板显示器件、太阳能光伏 电池、反射热镜、气体敏感器件 、特殊功能窗口涂层 以及光电子、微电子、真空电子器件等领域。综述了透明导电氧化物薄膜的基本特性、制备方法及应用，并展望了其发 展前景。 关键词 透明导电氧化物 功能材料 光电特性 制备方法 进展 DistinctiveFunctionalMaterial— — TransparentC