aln电子薄膜材料的研究进展_周继承.pdfVIP

·14 · 材料导报 　　 　　2007 年 5 月第 2 1 卷第 5 期 Al N 电子薄膜材料的研究进展 周继承 ,石之杰 ( 中南大学物理科学与技术学院 ,长沙 4 10083) 　　摘要 　　AlN 是一种在热 、电、光和机械等方面具有 良好综合性能的材料 ,作为电子薄膜材料在微电子 、电子元 件 、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用 。简介了 AlN 薄膜的制备方法 ,评述了国内外各科研团体 的最新研究成果和进展 , 阐述了 AlN 薄膜的应用 ,并综述了近年来 AlN 薄膜作为缓冲层 、SO I 结构的绝缘埋层和吉 赫兹级声表面波器件压电薄膜的研究现状 。 关键词　　AlN 电子薄膜材料 　电子元器件 　应用 　进展 中图分类号 : TB43 　　　　文献标识码 :