表面等离子体子光波导传感器教材.pptVIP

表面等离子体子共振（Surface Plasmon Resonance ）光波导传感器 2006年3月 electron ——电子 photon ——光子 magnon ——磁子 proton ——质子 neutron ——中子 phonon ——声子 plasmon ——表面等离子体子，是指金属表面沿着金属和介质界面传播的电子疏密波，由金属和空气界面上表面电磁波的激发而产生。 plasmon具有波粒二象性,其粒子性体现为它是具有能量的量子 , 其波动性体现为它是在薄膜表面上传播的电子疏密波。 金属包层平板介质波导 用于集成光学器件，介质波导中沉积金属膜或在金属膜基底上沉积介质波导层； 金属对光频有强力的吸收作用，电磁场仅在很薄的一层内以衰减场形式存在； 在光频电场的作用下，在金属层内可激发出等离子体振荡，即在金属和介质的交界面出现等离子体表面波（ Surface Plasma Wave-SPW ）； 金属的光频特性 金属的电容率（介电常数）是复数，实部为负，且绝对值大于虚部： 光在金属中传播必须考虑电导率的影响，麦克斯韦尔方程： 波动方程： 复折射率： 电场矢量写成： 代入复折射率： 折射率的实部决定波的相速度，虚部决定媒质的吸收而产生的波振幅的衰减，因此称虚部为消光系数或衰减系数。 衰减系数 如虚部等于0.005 的金属，波长为1.0?m的光传输距离为36 ?m 。 等离子体：宏观上呈电中性、体内所含正电荷数与负电荷数几乎处处相等的多粒子系。 金属中的自由电子被局限在正离子构成的晶体点阵内作无规则运动，单位体积内自由电子所带的负电荷数与正离子所带的正电荷数相等，呈等离子状态。 等离子体表面波及存在的条件 什么是等离子体表面波SPW（ Surface Plasma Wave）？ 指在一定条件下，出现在金属与电介质分界面上传播的平面电磁波，其振幅随离开分界面的距离按指数衰减。 SPW存在条件： SPW一定是TM波（ P偏振光）； 只存在于两侧电容率符号相反的分界面，在光频范围内，金属和电介质的分界面存在SPW； SPW传播常数： 表面等离子体子共振SPR （ Surface Plasmon Resonance ） 利用光在发生全反射时的消逝波, 激发金属表面的自由电子产生等离子体表面波。 当消逝波与等离子体表面波传播常数相等时发生共振，称此时的入射角为共振角。 设入射光角频率为?，在棱镜底面全反射时的入射角为?，则消逝波在界面x方向的传播常数为： 金属表面等离子波传播常数： 共振角 x 衰减全反射ATR  ( Attenuated Total Reflection-ATR) 一旦入射P偏振光与SPW耦合并产生共振，SPW可增强几百倍，称为表面等离子体共振SPR 。 衰减全反射(ATR)： 因消失波的存在, 光线在界面处的全内反射将产生一个位移D (古斯-汉森位移), 即将沿X 轴方向传播一定距离。若光疏介质对光线没有吸收并无其它损耗, 则全内反射强度并不会被衰减, 消失波沿光疏介质表面在x 方向传播约半个波长, 再返回光密介质。反之, 光能会损失,这样引起的能量损失称为衰减全反射(ATR) 衰减全反射ATR  ( Attenuated Total Reflection-ATR) 共振时界面处的全反射条件将被破坏, 呈现全反射衰减现象,使反射光能量急剧下降, 在反射光谱上出现共振峰，即反射率出现最小值，称为衰减全反射ATR 。 影响SPR的因素： 金属膜表面介质的光学特性、厚度； 入射光的入射角、波长和偏振状态； 等离子体表面波激发方式 空间光与SPW耦合的典型结构： Otto结构：金属和全内反射表面之间有约几十纳米的介质间隙,金属可以是半无限宽。入射光在棱镜底面发生全内反射, 而消失波作用于间隙与金属界面, 并在此界面发生SPR。 Kretschmann结构：采用真空蒸镀,磁控溅射等方法直接在全内反射表面镀一层几十纳米厚的金属，应用最广。消失波透过金属薄膜, 在金属膜外侧界面处发生表面等离子体子共振。 棱镜 金属介质 Otto结构 棱镜 金属膜 Kretschmann结构 表面等离子体子其他激发方式 (a) two-layer Kretschmann geometry, (b) excitation with a SNOM probe, (c) diffraction on a grating, (d) diffraction on surface features. SPR传感器的实际应用 SPR传感器可获取紧靠在金属薄膜表面介质层的光学常数, 从而进一步得到介质的其它信息，如： 由膜厚估计成膜物质的结构排列；