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四轴激光图形化直写设备 MicroLab 高性能、高效率微结构图形加工中心 SVG-4A100 MicroLab ：SVG-4A100 是一款小型化高端图形激光直写设备，具有四轴（X-Y-theta-Z）运动控制系 统和光斑空间调制（SLM）输入、纳米级精度陶瓷电机驱动、CCD 自动光斑聚焦和在球面上直写精密图形 等先进性能，支持直角坐标和极坐标下的矢量图形。 MicroLab 加工性能： 是一款全功能精密图形加工 系统，图形设计生成功能灵活（不再需要掩膜），超 高分辨率：可达 280nm(参见右图)，重复定位精度 100nm，可进行各种复杂图形制造，支持 grayscale lithography，laser dragging，parallel patterning， 3D 形貌等高级加工，比如，闪耀槽型、微透镜阵 列、多台阶图形、点阵图形等。 由于具有五参量功能，该系统实际上就是一台“功 适合于微结构器件的快速出样与科研，尤其适合于精密掩膜、 能强大的微结构图形加工中心或实验室”。 MEMS、CGH、微光学器件、光束整形、衍 射与折射光学阵列的研制。 应用领域 • 二维和三维微结构 •