柔性制造的发展与展望.pdfVIP

技术报道 Technology Reports 柔性制造的发展与展望 作者： Ralph Delmdahl 博士, 美国相干公司(Coherent) 准分子产品线经理 紫外激光系统在微电子制造中的应用实现从刚性到柔性制造的转变 用准分子激光器的超高脉冲紫外光功率，人们可以高 法还会对环境产生危害。相比之下，激光剥离工艺则是更好 利效、安全地将超薄功能元件从刚性晶元或面板载体上 的选择。为了将激光吸收限制在聚合物与玻璃载体界面附近， 剥离出来，从而有效地提高新一代超薄柔性零部件和 该工艺要求使用波长尽量短的激光（波长短于350nm ）。由 元器件生产率，降低制造成本。 于准分子激光器具有波长短（激光剥离工艺中常用的是308 激光加工一直是微电子器件生产实现突破性发展的关键 nm 以及248 nm ）、能量和功率高的特点，因此在精密微电 技术。随着微电子器件的结构尺寸不断缩小，利用短波长紫 子器件生产中，采用准分子激光器进行激光剥离，不仅良率高， 外激光器加工逐渐成为行业主流趋势，因其可以在横向和纵 而且产量大，完全可以满足微电子市场的批量化生产需求。 向上实现极高的加工分辨率。作为紫外激光器的一员，准分 事实上