悬臂接触式RF MEMS开关的设计.pdfVIP

悬臂接触式RF MEMS 开关的设计 张义恺 北京邮电大学自动化学院，北京 (100876) E-mail：xysr213@ 摘 要：本文研究的金属接触型RF MEMS 开关由悬臂梁，驱动电极，金属触点等部分构成。 基于微波、材料和机械设计因素的考虑，本次设计选取了氮化硅作为悬臂梁的材料，以保证 有材料具有良好的机械特性和化学稳定性。并选择金作为接触金属，是由于金在稳定性和导 电性方面的优势。悬臂梁为PECVD 制作的氮化硅薄膜,聚酰亚胺作为牺牲层,运用等离子体 刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、电极的制作工艺,并分析了牺牲层的制作和刻蚀工艺对开 关结构的影响，并对开关进行失效分析。 关键词：微机电系统，射频开关，阈值电压，失效 中图分类号：TP211 1．引言 MEMS （Micro Electro Mechanical Systems ，微机电系统）是电子技术与机械、光学等领 域交叉融合并具有战略意义的前沿高技术，是未来的主导产业之一。并在近 10 年来取得了 快速的发展。作为RF MEMS 的主要器件之一，RF MEMS 开关在微波集成电路（Microwave [1] 。微开关研究最早可以追溯 Monolithic Integrated Circuits, MMICs ）中有着广阔的应用前景 到Peterson 于1979 年研制的0.35µm 厚、金属包覆的静电悬臂梁式微机械开关[2] 。此后，由 于工艺的限制没有再取得进展,直到90 年代，RF MEMS 开关才获得了巨大发展。本文设计 的开关属于静电驱动类。 2 ．材料选择及参数设计 本次设计的悬臂接触式spst(single-pole single-throw)型的RF MEMS开关由悬臂、金属触 点和静电驱动机械部分组成，用静电吸附力来控制悬臂的上下运动从而实现开、关特性,具 有低插损、高绝缘、易于集成和能处理大功率，而且还有驱动电压相对较低、在实际电路中 应用灵活等优点。 图1 开关结构示意图 2.1 材料选取 作为射频开关中的可动部件,悬梁应当具有良好的弹性和较高的强度,对于接触式串联 开关而言,上电极在悬梁的上方,地线作为下电极, 因此悬梁还必须具有好的绝缘耐压性能,防 - 1 - 止静电击穿。为了使开关能长期稳定工作, 又能与整个制备工艺兼容,经过综合比较,本次设 计最终选择氮化硅作悬臂梁材料。该材料具有良好的机械特性和化学稳定性, 同时又可用等 离子增强化学气相淀积(PECVD) 在低温下淀积, 与其他工艺兼容, 因此是合适的悬臂梁材 料。还有一个重要的问题是接触点的制备。实际上, 开关的导通电阻主要来自接触电阻, 在 可靠性试验中, 往往也是接触金属出问题。由于金在稳定性和导电性方面的优势, 金不仅具 有较低的弹性模量，而且屈服强度也较高，是电极的适合材料。故本次设计选择金为接触金 属。 2.2 机械静态分析 微机电开关的力学模型与一端受力的悬臂梁近似。该悬臂梁的长为l、宽为h 、厚度为t 。 由于悬臂梁的宽度远大于厚度, 且受力和运动方向都在如图1 所示的x -y 平面内, 所以悬臂 梁的运动可以用平面问题分析。假设自由端沿宽度方向单位长度受力为F , 悬臂梁在固定端 的边界条件: 挠度y|X=L=0, ∂y / ∂x |X=L=0。则在外力F 的作用下, 悬臂梁的挠度方程可表 示为 y=