第一章 表面分析概述.ppt

离子束比电子、光子都重，它轰击表面时产生的效应非常明显。离子不仅具有电荷，还有电子结构和原子结构。当离子与表面原子接近时，除有静电场和接触电势差等作用外，它本身还可以处于不同的激发电离态。离子还可以和表面产生各种化学反应。总之，离子与表面作用后，提供的信息非常丰富，但有相当一部分现象还没有得到很好的解释。 * Ppm 10的负6次方 ppb 10的负9次方 * * SIMS ? 二次离子质谱仪 二次离子质谱仪-质谱分析器 二次离子分析早期采用磁质谱仪，其质量分辨率和检测灵敏度高，但仪器复杂、成本高。 表面分析的静态SIMS中，几乎都采用四级杆质谱仪，没有磁场、结构简单、操作方便、成本低，可以采用能量很低的一次束轰击样品。 飞行时间质谱仪分析速度快、流通率高，可以测量高质量数的离子，常被用来检测样品表面的有机物沾污。 SIMS ? 二次离子质谱仪 双聚焦磁二次离子质谱仪 SIMS ? 二次离子质谱仪 飞行时间二次离子质谱仪 SIMS ? 主要功能 质谱分析 一次离子束扫描样品表面， 质谱仪同时扫描质量范围， 按荷质比收集各种二次粒 子，得出二次粒子的质谱图。 通过分析，可以得到样品受 检测区的元素组成信息以及 各种元素的相对强度。 SIMS ? 主要功能 深度剖面分析 逐层剥离表面的原子层， 提取溅射坑中央的二次离 子信号。质谱仪同步监测 一种或数种被分析元素， 收集这些元素的二次离子 强度，即可形成二次离强 度-样品深度的深度剖析 图，就可以得到各种成分 的深度分布信息。 硅样品深度剖析—元素组分分析 SIMS ? 主要功能 成二次离子像 1.离子显微镜模式 2.离子探针模式 两种模式下SlMS成像功能优劣的简单比较 SIMS ? 主要功能 成二次离子像 SIMS ? 主要功能 有机物分析 静态SIMS是一种软电离 分析技术，在有机物特别 是不蒸发、热不稳定有机 物分析方面的应用近来得 到迅速的发展。 沉积在Ag上的维生素B12的静态SIMS SIMS ? 主要特点 优点 1.检测极限可达ppm，甚至ppb量级； 2.能检测包括氢在内的所有元素及同位素； 3.分析化合物组分及分子结构； 4.获取样品表层信息； 5.能进行微区成分的成象及深度剖面分析。 缺点 1.定量差，识谱有一定难度； 2.需要平整的表面进行分析； 3.属破坏性分析技术 。 * * 其他表面分析技术 外红吸收谱 椭偏光测量 核磁共振谱 电子顺磁共振谱 扫描隧道显微镜 吉布斯 塔姆 肖克莱 * 唯象理论（phenomenology），是物理学中解释物理现象时，不用其内在原因，而是用概括试验事实而得到的物理规律。唯象理论是试验现象的概括和提炼，但仍无法用已有的科学理论体系作出解释。即“知其然不知其所以然”。唯象理论对物理现象有描述与预言功能，但没有解释功能。最典型的例子如开普勒三定律，就是对天文观测到的行星运动现象的总结。实际上支配开普勒三定律的内在机制是牛顿的万有引力定律。进一步层次，牛顿的万有引力定律也是唯象的，需要用量子引力理论去解释。 弛豫：与表面垂直方向的原子重排 重构：与表面平行方向的原子重排 * 偏析:合金中各组成元素在结晶时分布不均匀的现象称为偏析。 吸附：当流体与多孔固体接触时， 流体中某一组分或多个组分在固体表面处产生积蓄， 此现象称为吸附。 吸附也指物质（主要是固体物质）表面吸住周围介质（液体或气体）中的分子或离子现象。 吸附属于一种传质过程，物质内部的分子和周围分子有互相吸引的引力，但物质表面的分子，其中相对物质外部的作用力没有充分发挥，所以液体或固体物质的表面可以吸附其他的液体或气体，尤其是表面面积很大的情况下，这种吸附力能产生很大的作用，所以工业上经常利用大面积的物质进行吸附，如活性炭、水膜等。 固溶体：固溶体指的是矿物一定结晶构造位置上离子的互相置换，而不改变整个晶体的结构及对称性等。 * 发射光谱：给样品以能量，比如原子发射光谱，原子外层电子由基态到激发态，处于激发态电子不稳定，会以光辐射的形式是放出能量，而回到基态或较低的能级。得到线状光谱。 吸收光谱：用一定波长的光照射样品，样品会吸收一部分光，照射前后就有光强度的变化，记录这种变化得到的是吸收光谱，如分子、原子吸收光谱。 区别：发射光谱是指样品本身产生的光谱被检测器接收。比如ICP，样品本身被激发，然后回到基态，发射出特征光谱。发射光谱一般没有光源，如果有光源那也是作为波长确认之用。在测定时该光源也肯定处于关闭状态。 吸收光谱是光源发射的光谱被样品吸收了一部分，剩下的那部分光谱被检测器接收。比如原子吸收光谱，空心阴极灯发出的光谱被样品吸收了一部分，检测器则接收剩余的那部分。吸收光谱都有光源，测定时光源始终工作，