【2017年整理】六电子显微技术.ppt

第六章 电子显微技术;透射电子显微镜;;;透镜的放大倍数;由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠得太近，过分重叠，图象就模糊不清。 ;;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;最小分辨距离计算公式：;对于可见光的波长在390~770nm之间，光学显微镜其最小的分辨能力为0.2μm;;畸变;;;;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;景深：透镜物平面允许的轴向偏差。 不影响透镜成像分辨本领的前提下，物平面可沿透镜轴移动的距离。反映了试样在物平面上下沿轴运动的距离或试样超过物平面所允许的厚度。原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面重合，能在透镜像平面获得该层平面的理想图像。偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑的尺寸不超过由衍射效应和球差引起的散焦斑，那么，对于透镜像的分辨本领并不产生什么影响。;α;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;焦深：透镜像平面允许的轴向偏差 不影响透镜成像分辨本领的前提下，像平面可沿透镜轴移动的距离。反映了观察屏或照相底版可在像平面上下沿轴运动的距离。当透镜焦距、物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动时也会引起失焦，如果失焦斑的尺寸不超过由衍射效应和球差引起的散焦斑，对分辨本领无影响。 ;;;对于光学显微镜样品要求较严格 薄片状透光样品或者抛光表面;虽然光学镜头可以通过组合设计对球差、像散能很好消除，但对于分辨率的提高和景深的增加却无能为力。; 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 ;电子具有波粒二像性，其波长可由其动能算出;电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜;磁透镜结构剖面图;透镜使电子会聚的原理;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;所有从O点出发的电子类似的轨迹运动，在v一定时，当轨迹与轴的角度很小时，电子会聚在O’点（O）的象。; 我们有下面的结论： 1）所有从同一点出发的不同方向的电子，经透镜作用后，交于象平面同一点，构成相应的象。 2）从不同物点出发的同方向同相位的电子，经透镜作用后，会聚于焦平面上一点，构成与试样相对应的散射花样。 ;;有极靴;对于电磁透镜而言，n=1,?0.1 rad;当 时，可以得到最佳孔径角：;将铂、铂-铱或铂-钯等金属或合金，用真空蒸发的方法可以得到粒度为0.5-1nm、间距为0.2-1nm的粒子，将其均匀地分布在火棉胶（或碳）支持膜上，在高放大倍数下拍摄这些粒子的像。为了保证测定的可靠性，至少在同样条件下拍摄两张底片，然后经光学放大5倍左右，从照片上找出粒子间最小间距，除以总放大倍数，即为相应电子显微镜的点分辨率。--实际分辨率;;晶格分辨本领的测定：;磁透镜的放大倍数;景深：;透射电镜和光学显微镜的光路比较;;?;一台透射电子显微镜就其总体可以分为三个部分： 电子光学部分（照明系统、成像系统、观察和记录系统）（核心部分） 真空部分（各种真空泵、显示仪表） 电子学部分（各种电源、安全系统、控制系统）;1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此人们习惯上把它们通称为“电子枪”