半导体晶圆制造中组合设备运行与控制综述.pdf

15 2 Vol． 15 No． 2 第 卷第 期 工业工程 2012 4 April 2012 年 月 Industrial Engineering Journal  半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述 ， 闵 雁 伍乃骐 ( ， 510006) 广东工业大学机电工程学院 广东广州 : ， 。 摘要 作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备 组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用 使用 、 、 。 组合设备使得半导体制造产出更高 生产周期更短 空间利用率更高以及生产成本更低 由于组合设备的运行受限 ， 。 、 于诸多约束条件 有效运行一台组合设备相当困难 目前已有大量的有关组合设备建模 性能分析及调度等相关研 。 ， 。 ， 究工作 本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法 探讨了现有的方法的优缺点 基于这些分析 指出 了进一步的研究方向。 : ; ; ; 关键词 半导体制造 组合设备 生产调度 系统建模和分析 中图分类号:TP278 文献标志码:A 文章编号:1007-7375 (2012)02-0001-15 Review of Operations and Control of Cluster Tools in Semiconductor Wafer Fabrication Min Yan ，Wu Nai-qi (School of Electromechanical Engineering ，Guangdong University of Technology ，Guangzhou 510006 ，China) Abstract :As integrated and configurable equipment with single wafer processing ，cluster tools are increas- ingly adopted by semiconductor manufacturers． It results in higher yield ，shorter cycle time ，better utiliza- tion of space ，and lower fabrication cost． However ，with various constraints ，it is difficult to effectively op- er