SiO-%2cx-渐变折射率薄膜及ZnO透明导电薄膜反应磁控溅射工艺及机理的研究.pdf

摘要 摘 要 光学薄膜被广泛应用于科研、国防军事以及民用产品等各个领域。随着光 通信、平板显示等技术的出现与发展，以及军事、科学研究等领域新的需求，对 光学薄膜性能的要求越来越高，对光学薄膜材料也提出了新的挑战。 SiOx和ZnO材料体系都是储量丰富，绿色环保的新型光学薄膜材料，在光 学及半导体电器件等工业领域具有广泛的应用前景。Siox具有折射率在大范围可 调，红外光波段透明性好的特点；掺杂的ZnO可以具有良好的透明导电性能。 磁控溅射技术是一种已经被广泛采用的成熟的产业化生产技术。精确及可重复地 控制SiOx薄膜材料的折射率及膜厚，抑制ZnO薄膜制备过程中的反溅射现象， 是决定这两种材料体系能否真正获得产业化应用的关键问题。 本论文以Siox和ZnO材料体系为研究对象，系统地研究了磁控溅射工艺条 件对薄膜的化学成分、微结构及光学特性等的影响。从应用的角度重点研究了用 反应磁控溅射稳定地获得Siox中间折射率材料及相关光学薄膜器件的工艺，分 析了利用自由基辅助磁控溅射技术制备ZnO薄膜的反溅射现象和机理。通过大 量的实验和分析，取得了如下一些结果： 1．SiOx渐变折射率材料的反应磁控溅射工艺研究及SiOx／Si02多层膜红外滤波 片光学薄膜器件的制备： (1)利用反应磁控溅射镀膜技术，通过改变氧气流速或溅射功率，精确可重复地 获得了折射率在3．69到1．44(@A--1550nm)之间可任意调控的Siox(0-x_- 2)薄膜材料； (2)利用SiOx／Si02材料组合，成功地演示了具有高折射率比的多层膜带通和反 射红外滤光片光学薄膜器件： (3)从原理和实验上证明了采用单一的硅溅射靶材可以制备具有良好光学特性 的红外光学器件，为产业化生产提供了一种经济而实用的技术和方法。 2．用SiOx制备渐变折射率RugateFilter的理论及工艺研究： filter光 (1)从理论分析的角度讨论了材料的选择及折射率分布的设计对rugate 学性质的影响。结果表明，选择合适的折射率振幅调制函数及引入界面折射 摘要 filter的光学特性得到很大的改善。 率匹配层，可以使rugate (2)通过调节SiOx中的氧含量，成功地制备了具有较好光学性能的渐变折射率 filter光学薄膜器件。 mgate 3．用自由基辅助磁控反应溅射法制备ZnO透明导电薄膜过程中的反溅射现象 研究： (1)溅射损失主要来源于扩散沉积和反溅射两种机制； (2)在溅射区高能氧负离子对低氧化状态ZnOx膜的轰击是导致反溅射的主要因 素。反溅射效应的强弱取决于沉积ZnOx膜的溅射阈值以及溅射区氧负离子 的浓度。 (3)提出了通过调节真空室中溅射区和氧化区的氧平衡分布抑制ZnO反溅射现 象的方法。为下一步制备高质量的ZnO透明导电薄膜提供了实验和理论方面 的依据。 filter、透明导电氧 关键词：光学薄膜、光谱、Siox、ZnO、渐变折射率、rugate 化物、反溅射 Ⅱ Abstract in as havebeen areas，such technologies many Opticalcoating widelyapplied scientific andcivilian etc．Tomatchthe research，nationaldefense，militaryproducts fas