生物医学传感器压电式传感器.pptVIP

生物医学传感器 原理及应用; 压电式传感器是一种有源的（发电型）双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1880年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器.; 晶体压电效应与压电材料 当某些晶体沿一定方向伸长或压缩时,在其表面上会产生电荷(束缚电荷),这种效应称为压电效应。晶体的这一性质称为压电性。压电效应是可逆的，即晶体在外电场的作用下要发生形变，这种效应称为反向（逆）压电效应。（电致伸缩效应）; 第六章 压电式传感器;;6.1 压电材料 6.2 压电效应及工作原理 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 聚偏二氟乙烯（PVDF）压电式传感器 6.6 压电式传感器应用;（1）转换性能：要求具有较大的压电常数。 （2）机械性能：机械强度高、刚度大。 （3）电性能：高电阻率和大介电常数。 （4）环境适应性：温度和湿度稳定性要好，要求具有较 高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 （5）时间稳定性：要求压电性能不随时间变化。; （3）介电常数：处于工作状态的压电传感器相当于一个电容器，存在着一个压电元件材料沿电极面法线方向的自由介电常数ε 。对于一定形状、 尺寸的压电元件 , 其固有电容与介电常数有关 ; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （4）机电耦合系数：在压电效应中 , 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根 ; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏 , 从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度;三、石英晶体;? 石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好，在常温范围内这两个参数几乎不随温度变化，如下两图。 由图可见，在20℃～200℃范围内，温度每升高1℃，压电系数仅减少0.016％。但是当到573℃时，它完全失去了压电特性，这就是它的居里点。 压电系数d11＝2.31×10－12C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为???的1/30。 ;石英晶体的两种类型： 天然和人工培养。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;压电陶瓷主要有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷等。 （1）钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1:1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 优点：介电常数和压电系数大（约为石英晶体的50倍）。 缺点：居里点温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。;压电半导体材料有ZnO、CdS、CdTe等，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。 用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可检测力和温度等参数。;五、新型压电材料;; 现今压电传感器的材料大多用压电陶瓷。常用的压电陶瓷是锆钛酸铅(PZT)。另外，铌酸锂和钽酸锂大量用作声表面波(SAW)器件。此外,氧化锌和氮化铝等压电薄膜已是当今微波器件的关键材料。 压电单晶和压电陶瓷都是脆性材料。而以聚偏二氟乙烯(PVDF)为代表的压电高聚物薄膜,压电性强,柔性好,特别是声阻抗与水和生物组织接近,是制作传感器的良好材料。用压电陶瓷和高聚物复合而成的压电复合材料也已在压电传感器领域中得到应用。; 第六章 压电式传感器;一、压电效应的基本概念;一、压电效应的基本概念;一、压电效应的基本概念;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;第六章 压电式传感器 （例题）;二、压电效应的基本原理;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，有一定的极化方向，从而存在电场。 ;在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变化，即剩余极化强度很大，这时材料才具有压电特性。 ;陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来： 在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。;;