第9章半导体1气敏精品.pptVIP

直热式器件是将加热丝、 测量丝直接埋入SnO2或ZnO等粉末中烧结而成的， 工作时加热丝通电，测量丝用于测量器件阻值。 这类器件制造工艺简单、成本低、功耗小，可以在高电压回路下使用， 但热容量小，易受环境气流的影响，测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。 国产QN型和日本费加罗TGS＃109型气敏传感器均属此类结构。 旁热式气敏器件的结构及符号如图9-4所示。 旁热式气敏器件的结构及符号 (a) 旁热式结构； (b) 符号 将加热丝放置在一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂上SnO2等材料。 旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点，使测量极和加热极分离， 旁热式气敏器件的结构及符号 (a) 旁热式结构； (b) 符号 而且加热丝不与气敏材料接触，避免了测量回路和加热回路的相互影响， 器件热容量大，降低了环境温度对器件加热温度的影响， 所以这类结构器件的稳定性、可靠性都较直热式器件好。 国产QM-N5型和日本费加罗TGS＃812、813型等气敏传感器都采用这种结构。