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WALEX 《曝光工藝知識 培訓教材》 日期：2015.03.26 QS 目 录 一、前言 二、工序制作简介 三、工艺制作流程 四、作业环境要求 五、讨论 編寫本教材為[圖形轉移]工藝製作原理，適用於本公司生產參考、及相關技術人員的培訓等範圍。 一、前 言 图形转移的定义： 利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由单体变成聚合体.這種反應過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產生的光合作用來完成。形成一种抗蚀的护膜图形，那些未被油墨所保护覆盖的铜箔属于的不需要的铜箔，将在随后的化学蚀刻工艺中被蚀刻掉，经过蚀刻工艺后再褪去抗蚀膜层，得到所需要的裸铜电路图形。 圖形轉移工序包括： 外層製作影像、 外層絲印、內層製作影像等三種工序，前兩種圖形轉移方法屬於我們常用生產工藝。  二、工序制作简介 板面前处理 曝光 对位 菲林制作 QC 显影 三、工艺制作流程 预烤 蚀刻 印线路感光油 QC 印防焊感光油 板面中处理 后烤 对位 曝光 QC 冲板成型 四、工艺制作流程 1、板面前处理工作原理：清洁、粗化板面，保证線路感光油墨转移至板面的结合力，并能抗蚀。 四、工艺制程原理 印刷感光線路油目的：將已處理合格的基板銅面，通過網印法將感光油墨整板印製在基板上，輔助線路導電圖成型及抗蝕效果。 四、工艺制程原理 預烤基板感光線路油目的：將已印好感光油墨的基板送入烤箱內烘烤，以便達到板面油墨不沾菲林及抗蝕之效應。 烘烤條件：恒溫75℃ 時間：30分種 四、工艺制程原理 黃菲林製作目的：①通過原始光繪負片菲林與重氮片正面吻合，放入曝光機內並結合紫外光源給予圖形轉移成像。②將已曝光成像的黃菲林放入26°BE的氨水 桶內顯影，以至達到圖形完好成像。 四、工艺制程原理 菲林對位目的：將複製好的黃菲林與基板完全吻合，以至達到圖形位置精准無偏移。（菲林三點座標同基板座標完全重合，視為位置無偏移） 曝光原理：將已貼好黃菲林的基板放入曝光機內，利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由單體變成聚合體.這種反應過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產生的光合作用來完成圖形轉移之效應。 光源 曝光机 四、工艺制程原理 紫外光能量 光引发剂 R’ 单体 聚合物 自由基传递 聚合交联反应 4.3 曝光原理（感光原理）： 四、曝光工艺制程原理 四、工艺制程原理 顯影目的：將未受光聚合部分油墨溶解並通過噴淋方式沖洗掉，從而使線路圖形顯現出來。 顯影液配比：0.8—1.2% 水：碳酸鈉=100：0.8—1.2 显影机 CO CO OH OCH3 CO CO ONa OCH3 未聚合之油墨層被Na2CO3溶液沖掉的原理，是形成鈉鹽而被溶解，而已感光部分則不會形成鈉鹽而得以保存。 1%Na2CO3 显影原理： 四、工艺制程原理 五、 特殊工艺说明：干膜/湿膜性能比较： 注：产品线路结构特性而巽，干膜针对导电线路为精密形及在线宽＜0.15mm使用。 六、工艺制程原理 曝光室操作环境环境控制： 1、温、湿度要求： 温度：20 ±2℃， 湿度：50 ±10RH% 2、“洁净室”建立： 净化等级达到10K-100K级 3、照明光源要求： 因湿膜属于感光性材料，工作区应采用黄光。 七、讨论 探討問題與交流 八、结束语 Sheet3 Sheet2 Sheet1 差 较好 3mil 1 mil — 比干膜低40~60% 无保护膜、膜薄、处理量小 膜厚、处理量大 可实现自动化生产，但要配用自动除干膜保护膜设备 可以实现自动化生产 房间：100K级 房间：10K级 设备：1K级 设备：10K级 酸性或碱性蚀刻剂 项目 解像度 填平性 成本 废水处理 自动化程度 洁净房要求 适用蚀刻剂 干膜抗蚀剂 液态抗蚀剂