表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算.pdfVIP

第5 期 电 子 学 报 Vol. 34 No. 5 2006 年5 月 ACTA ELECTRONICA SINICA May 2006 表面波表征ULSI 互连布线双层薄膜 机械特性的理论计算 I I 2 肖 夏 ，姚素英 ，阮 刚 （I. 天津大学电子信息工程学院，天津300072 ；2. 复旦大学信息科学与工程学院，上海200433 ） 摘 要： 利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无 损伤等突出优点. 本文研究了在Si（I00 ）衬底上淀积双层薄膜的分层结构中超声表面波沿Si［II0 ］晶向传播的速 度- 频率色散关系. 应用此方法对超大规模集成电路（ULSI ）中具有质软、易碎特点的低介电常数互连介质（low- k ）薄膜的机械特性进行了表面波频散计算. 研究了先进ULSI 互连布线系统中广泛存在的3 种分层薄膜结构上 表面波的频散特性. 计算表明不同分层结构对表面波的频散特性影响很大. 对于同一分层结构，表面波的频散曲 率随low-k 薄膜杨氏模量的减小而显著增大. 本工作为准确测定low-k 薄膜的杨氏模量提供了理论计算依据. 关键词： 超声表面波；low-k 薄膜；频散特性；杨氏模量 中图分类号： TN405. 97 文献标识码： A 文章编号： 0372-2II2 （2006 ）05-0774-04 Theoretical Calculation on the Mechanical Characterization of ULSI Two-Layer Interconnect Films by Surface Acoustic Waves XIAO XiaI ，YAO Su-yingI ，RUAN Gang2 （I. School of Electronic and Information Engineering ，tianjin University，tianjin 300072 ，china ； 2. School of Information Science and Engineering ，fudan University ，Shanghai 200433 ，china ） Abstract ： The ultrasonic surface acoustic wave （SAW ）technigue is becoming attractive for accurate and nonde- structive determination of elastic properties for thin films. In this paper，the dispersive characteristics of SAW propaga- ting along the Si［II0 ］direction on the two-layered structure were studied in detail. The theoretical calculations were carried to analysis the mechanical properties of ultra low dielectric constant （low-k ）films which will be employed