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第3章 电容式传感器;学习本课程所需的预备知识。 电路基础、电子测量技术、电子线路。 教学提要（重难点）、课程内容、教学要求、实验指导。 电容传感器的工作原理以及测量电路是本章的重点，其中测量电路中的脉冲调制电路是难点。 从电容器的电容量与其相关的参数入手，逐一介绍了变隙型、变面积型以及变介电常数型的原理、结构。在测量电路中重点介绍了脉冲宽度调制电路。最后，介绍电容传感器的应用。 ;电容式传感器是将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。其结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。; ; ;2.变极距式电容传感器????图2是空气介质变极距式电容传感器的工作原理图。图中一个电极板固定不变，称为固定极板，另一极板间距离d响应变化，从而引起电容量的变化。因此，只要测出电容量的变化量⊿C，便可测得极板间距变化量，即动极板的位移量⊿d。 变极距电容传感器的初始电容Co可由下式表达，即?; ; ; ;为了提高传感器的灵敏度，减小非线性，常常把传感器做成差动形式。图为差动变极距式电容传感器的示意图。它有三个极板，其中两个固定不动，只有中间极板可产生移动。当中间活动极板处于平衡位置时，即d1=d2=do，则C1=C2=Co，如果活动极板向右移动⊿d,则d1=do-⊿d,d2=do+⊿d,即其中一个电容量增大，另一个相应减小，这样可以消除侧量误差而且灵敏度也提高了一倍。;3.变极板面积型电容式传感器 被测量通过动极板移动，引起两极板有效覆盖面积A改变，从而得到电容的变化。图是一个角位移式传感器的结构,设两极板完全遮盖时，遮盖角度θo=π，初始电容C。=εAo／d。，极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移θ度时，两极板的遮盖面积A就减小,因而电容量也随之减小. 此传感器的灵敏度为;电容传感器的容量与投影面积的关系演示 ???????; 在实际使用中，可增加动极板和定极板的对数，使多片同轴动极板在等间隔排列的定极板间隙中转动，以提高灵敏度。由于动极板与轴连接，所以一般动极板接地，但必须制作一个接地的金属屏蔽盒，将定极板屏蔽起来。 由上式可知，变面积式电容传感器的输出特性是线性的，灵敏度是常数。变面积式电容传感器还可以做成其它形式。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。 ;4.变介质型电容传感器 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同，利用这种原理制作的电容传感器称为变介电常数式电容传感器.此类传感器可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、气体、液体、木材或煤等非导电固体物质的湿度。 图是变介电常数式电容传感器的原理图。当某种介质处于两极板间时，电容量与介质参数之间的关系为 式中 C1——空气介质引起的等效电容；C2——被测介质引起的等效电容； δ——介质的厚度；d——极距；εr——介质的相对介电常数，εr=ε/εo;由上式可知，当介质厚度δ保持不变，而相对介电常数εr改变，如空气湿度变化，介质吸入潮气(εr水》1)时，电容量将发生较大的变化。因此该电容器可作为相对介电常数εr的测试仪器，如空气相对湿度传感器。反之，若εr不变，则可作为检测介质厚度的传感器。变介电常数型传感器常被用来测量液体的液位和材料的厚度。 ;几种介质的相对介电常数;5.电容式传感器的特点 1).优点： Ⅰ.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。 Ⅱ.结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 Ⅲ.动态响应好 电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10－5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆Hz的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。;2).缺点 Ⅰ.输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般几十微法到几百皮法，其值只有几个皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达108～106Ω。因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从