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- 2017-06-10 发布于广东
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大学物理下第十五章波动光学上
2)测膜厚 1)干涉膨胀仪 劈尖干涉的应用 工件表面纹路是凹的 3)检验光学元件表面的平整度 4)测细丝的直径 例1 折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖,用波长?=600nm的单色光垂直照射,产生等厚干涉条纹,若在劈尖内充满n=1.40的液体,相邻明纹间距缩小? l = 0.5mm,求劈尖角?。 解:设空气劈尖时相邻明纹间距为l1,液体劈尖时相邻明纹间距为l2,由间距公式 例2 制造半导体元件时,常需精确测定硅片上镀有二氧化硅薄膜的厚度,可用化学方法把薄膜的一部分腐蚀成劈尖形,用波长? =589.3nm的单色光从空气垂直照射,二氧化硅的折射率 n=1.5,硅的折射率为 3.42,若观察到如图所示的7条明纹。问二氧化硅膜的厚度d =? 解:上下两面都有半波损失,互相抵消,光程差为: 棱边处 e=0 , 对应于 k=0 , 所以厚度为 d 处的明纹对应于 k=6 , 故二氧化硅膜的厚度为: 2、牛顿环 曲率半径很大的平凸透镜放在平玻璃板上,在其之间形成环状劈形空气层,用单色光垂直照射在平凸透镜上可以观察到一组明暗相间的同心圆环,称为牛顿环。 牛顿环实验装置 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T 厚度为e处空气层上下表面反射光程差为: 当 e = 0 时,? =?/2,中心暗斑。
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