【2017年整理】五电容式传感器.ppt

第5章 电容式传感器 5.1 电容式传感器 5.1.1 基本工作原理 5.1.2 电容式传感器的线性及灵敏度 5.2 电容式传感器的输出电路及等效电路 5.2.1 电容式传感器的等效电路 5.2.2 电容式传感器的输出电路 5.3 影响电容传感器精度的因素及提高精 度的措施 5.3.1 边缘效应的影响 5.3.2 寄生电容的影响 5.3.3 温度的影响 5.4 电容式传感器的应用 5.4.1 电容式压力传感器 5.4.2 电容式加速度传感器 5.4.3 电容式荷重传感器 5.4.4 振动、位移测量仪 5.4.5 电容测厚传感器 ; 概念:电容式传感器是将被测非电量的变化 转换为电容量变化的一种传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度等。 优点：结构简单、体积小、分辨率高、发热小、适合非接触测量。 缺点：存在分布电容、非线性 ; 5.1电容式传感器; 当被测参数变化使得式中的A,ε或 d发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而 仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 变换参数不同，电容式传感器可分为： 变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 改变平行极板间距d 的传感器可以测量微米级的位移； 变化面积A 的传感器则适用于测量厘米级的位移， 变介电常数式电容式传感器适用于液面、厚度的测量。;变极距(d)型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h） 变介电常数(ε )型: （i）～(l) ; 5.1.2电容式传感器的线性及灵敏度; 极板面积为A，初始距离为d0，以空气为介质（er=1），电容器的电容为 若电容器极板距离初始值 d0减小△d，其电容量增加△C，即 由上式，电容的相对变化量为 ; ，按幂级数展开得: 略去非线性项（高次项），则得近似的线性关系式 电容传感器的灵敏度为 电容式传感器灵敏度系数K的物理意义是：单位位移引起 的电容量的相对变化量的大小。 ; 略去高次项（非线性项）引起的相对非线性误差为 结论：极间距越 小，既有利于提高灵敏度，又有利于减小非线性。 但 d0过小时，容易造成电容器击穿。 在实际应用中，为提高灵敏度，减小非线性，大都采用差动结 构。 改善击穿条件的办法：在极板间放置云母片等介电材料。; （1）差动变间隙式的电容传感器 在差动式电容传感器中，其中电容器C1的电容随位移Δd的减小而增大时，另一个电容器C2的电容则随着Δd的增大而减小。 ; 它们的特性方程分别为 总的电容变化量 电容的相对变化量为 略去高次项,近似成线性关系 ; 差动电容式传感器的灵敏系数为: 差动电容式传感器的相对非线性误差近似为: 结论：差动式比单极式灵敏度提高一倍，非线性误差减小。 结构上的对称性，能有效补偿温度变化所造成的误差。; （2）固定介质与可变间隙式电容传感器 减小极间隙可提高灵敏度，但易击穿。为此，经常在两极板间加一层云母或塑料等介质，以改变电容的耐压性能。由此，构成固定介质