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硅太阳能电池生产线废水处理及回用工艺浅析讲解
SOUTHWEST WATER WASTEWATER 西 南 给 排 水 Vol.33 No.4 2011
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! 工业给排水
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硅太阳能电池生产线废水处理及回用工艺浅析
刘 锴
信息产业电子第十一设计研究院 无锡
( , 214071 )
摘 要 针对硅太阳能电池的生产过程中排放的废水性质 对相应的废水处理工艺及废水站进
,
行分析介绍 以期尽可能控制电池生产中的废水污染 为硅晶电池生产线的废水处理系统设计提供
, ,
参考和借鉴。
关键词 酸洗制绒 含氟废水 含IPA 废水 含铬废水
概述 腐蚀 去除硅片边缘的 结
1 , PN 。
尽管太阳能是绿色能源 且太阳能电池厂排放 去 是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸
,
PSG
的污染物 与石油 煤炭行业相比 对环境的污染 等清洗的方法进行清除
, 、 , 。
要少很多 但由于目前国内太阳能产业技术落后 等离子化学气相沉积 被使
。 、 (PECVD) : PECVD
政策不完善等原因 电池生产过程在国内仍存在较 用来在硅片上沉积氮化硅材料
, 。
严重的污染 对电池生产的废水污染的控制是一个 丝网印刷 是通过丝网印刷机将银浆或铝浆等
。 :
不可回避的现实问题。 导电材料印刷在硅片上。
2 硅太阳能电池的生产废水浓度和性质分析 硅片
表 1 某太阳能单硅片生产线废水排放情况表 纯水 超声波清洗 冲洗废水
HF、 HNO3 、 纯水 制绒制绒 浓氟废液
酸碱废水 HF 废水 HF 浓液 浓碱液 含IPA 废水浓酸废液
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