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MKSMassSpectrometrySolutionsOverview详解
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Residual Gas Analyzers (RGA) — For general residual gas analysis, the
performance of the MicroVision 2 RGA makes it the ideal choice for many
applications, including ultra high vacuum (UHV) such as vacuum coatings,
accelerators and high energy physics. The web-enabled e-Vision 2 RGA
represents a significant advance in technology, opening up new possibilities
for vacuum monitoring and e-diagnostics. With an unprecedented range
of instrument control options, e-Vision 2 is designed to make vacuum
troubleshooting and monitoring easy and straightforward.
High Pressure Residual Gas Analyzers — The HPQ3 allows
operation far beyond the 1e-4 mbar total pressure limit of other residual
gas analyzers, without the need for differential pumping. Field-proven
technology, coupled with the latest innovative electronics platform derived
from the Microvision 2 family, give data quality not previously seen in this
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