MgTiO3ZnTiO3CaTiO3系统MLCC陶瓷材料及中试生产的研究.pdf

中文摘要 论文主要研究了MgTiO -ZnTiO -CaTiO (MZC)系介质陶瓷材料高温、中温和 3 3 3 低温烧结系列化、MZC系介质陶瓷材料及MLCC研究三方面的问题。 MgTiO -ZnTiO (MZ)系陶瓷和CaTiO 系陶瓷的高频介电损耗小，其电容温度 3 3 3 系数在-55℃～125℃范围内可以相互补偿。通过调节MZC系的CaTiO 含量、烧 3 结制度和球磨工艺改变陶瓷的相组成和微观结构，获得高温烧结条件下优异的介 电性能。CaTiO 可以调节系统介电常数和温度系数，还能抑制MZ 晶粒的过度生 3 长。球磨时间和球磨介质都对MZC系陶瓷粉料的粒度分布影响大。 分别添加ZnO-H BO (GD) 复合氧化物和Li O -B O -SiO (G4) 复合氧化物可 3 3 2 3 2 3 2 将MZC系陶瓷的烧结温度降低，实现中温和低温烧结。在中温烧结条件下，GD 复合氧化物玻璃液相可以促进CaTiO 晶粒的充分形成，当CaTiO 晶体已经完全形 3 3 成时，过剩的玻璃液相则会促进Mg TiO →MgTiO 的转化。在低温烧结条件下， 2 4 3 随着G4 复合氧化物添加量增加时，Mg2+ 进入ZnTiO3 晶体中取代Zn2+,形成 (Zn,Mg)TiO 固溶体,抑制了部分ZnTiO 六方钛铁矿结构向Zn TiO 立方反尖晶石 3 3 2 4 结构的晶型转变。掺杂G4复合氧化物过多时，玻璃液相抑制了Mg2+进入ZnTiO3 晶体中取代Zn2+ ，ZnTiO 不稳定大量转化为Zn Ti O 。另外，G4复合氧化物的制 3 2 3 8 备工艺和球磨助剂对系统的相组成也有重要的影响。 通过配方、实验工艺以及介电性能等方面的协调优化，得到了高温、中温和 低温烧结条件下性能优良的MZC系陶瓷材料。 (1)高温：添加1.3mol%CaTiO 的MZC 陶瓷在1270℃烧结2h 时得到的介电性 3 -5 能较好，介电常数为22.62 、介电损耗为 1.3×10 ，和 电容温度系数为 20.51ppm/℃ （-55℃～125℃）。 (2)中温：添加8.25wt%GD玻璃的MZC 陶瓷在1110℃烧结2h 时得到的介电性 -5 能较好，介电常数为22.38、介电损耗为1.7×10 ，和电容温度系数为20.93 ppm/℃（-55℃～125℃）。 (3)低温：添加 10.0 wt%G4 复合氧化物的MZC 系陶瓷在 900℃烧结 8h 时 -5 得到的介电性能较好，介电常数为 20.88、介电损耗为 9.5×10 和电容温度系数 为 15ppm/℃（-55℃～125℃）。 对于MZC 系陶瓷材料的中试生产和 MLCC 研究，初试到中试的工艺对 MZC 陶瓷粉料的粒度分布影响较小，中试样品性能优良。MZC 系 MLCC 的烧结温度 低于圆片电容的烧