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第二篇 单项工艺1;快速热处理;问题引出;本章的两个关键问题;;快速热处理的分类;北极狐;北极狐; 主要内容;;黑体热辐射的辐出度有普朗克辐射定律确定：; 净传输能量计算;式中，A1、A2分别为物体1，2的面积，FA1-A2是位置因子，即表面A2对着A1的全部立体角的百分比：;5.2 高强度光源和反应腔设计;高强度光源和加热腔体设计;高强度光源和加热腔体设计;;反应腔设计;RTP-500快速热处理设备 ;;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;5.3 温度均匀性; 温度分布;实测温度分布;;5.4 热塑应力;RTP 的热应力; 屈服强度;5.5 几种典型的RTP工艺应用;B和BF2注入后经过1000℃、30秒退火后的化学杂质剖面分布和具有电活性的杂质剖面分布之间的差别;GaAs 的 RTP;石墨退火盒;介质的快速热加工;3. 热圆片/冷壁工艺 当反应腔外壁充分冷却，可形成热圆片/冷壁???态，不会造成工艺沾污，可以连续从事氧化、退火、沉积等多种工艺，也可生长多层膜 4. 硅化物及其热接触的形成 在硅上完成金属沉积后，用RTP工艺可快速形成金属硅化物，实现其良好的