第七章 VCC500 Chinese Manual.docVIP

压强控制器 VCC 500 使用说明书 产品标识 与INFICON联系时，请告知产品名牌上的信息。为便于参考现 将名牌上的信息表示如下。 有效性 本说明书用于件号为250-900的产品。 件号可从产品名牌上看到。 本说明书件基于固件版号2.01。 如你的仪器工作与本文件的说明不符，请检查是否与上述固件版 号（ 21）相符。 我们保留本说明书不事先通知的技术修改权。 用途 VCC500压强控制器用于真空系统的压强控制或流量调节。 在 7中给出工作模式的概述和可能的系统配置。 VCC500设计于装入19″机架。 供货范围 1件 压强控制器 4个 用于安装在机架上的带塑料套管的凹槽螺丝 1根电源电缆（指定地区的），2米长度 1个数字输入/输出电缆连接件（D-Sub 25-脚，凹形） 1个模拟输入/输出电缆连接件（D-Sub 25-脚，凸形） 1份使用说明书sina38e-b，包括质量保证书 产品标识 有效性 用途 供货范围 1 安全 1.1 使用符号 1.2 人员要求 1.3 一般安全规则 1.4 责任与保修 2 结构和功能原理 2.1 概观 2.2 工作模式 3 技术参数 4 安装 4.1 人员 4.2 机架安装 4.3 电源连接 4.4 阀连接 4.5 压强传感器 4.6 数字输入/输出 4.7 模拟输入/输出 4.8 RS232和RS485串列接口 5 VCC500的On和Off 6 配置 6.1 显示器对比度 6.2 压强测量单位 6.3 语言 6.4 自动导引功能 6.5 自动复位功能 6.6 工作模式 6.7 阀 6.8 控制模式 6.9 压强传感器 6.10 数字输入 6.11 数字输出 6.12 模拟输入/输出 6.13 串列接口 7 通过键操作 7.1 压强控制 7.2 流量调节 8 通过输入和输出操作 9 通过串列接口操作 9.1 标称值（设点） 9.2 工作模式 9.3 键锁 9.4 固件版号 9.5 工作值 9.6 测量单位 9.7 语言 9.8 压强传感器 9.9 阀 9.10 控制器参数 9.11 数字输入/输出 10 维护 11 检修 12 产品返回 13 附件 14 储存 15 废物处理 附录 A. 提供的压强传感器 B. 转换表 质量保证书 在本说明书内相互参照使用符号（ XY）。 使用符号 有用的劝告，提示，建议 等待时间，响应时间 见页. . . . 1.2 人员要求 1.3 一般安全规则 对于全部要进行的工作，必须遵守规章制度和采取必要的预防 措施和考虑本说明书中的安全规则。 向所有其他用户通报安全信息。 1.4 责任与保修 如最终用户或第三方发生以下情况，INFICON将不承担赔偿 责任和保修将不再有效。 · 不顾本说明书中的信息。 · 不适当地使用产品。 · 对产品作任何干预（修改，变更等） · 产品使用非产品说明中所列附件，选件和添加件。 最终用户承担使用过程介质的责任。 2.1 概观 2.2 工作模式 VCC500工作于下列工作模式： · 压强（压强控制模式） · 流量（流量调节模式） 压强控制（压强） 这个工作模式用于由可变流量（上游控制）或可变通导（下游控制）控制真空系统中的压强。这个模式需要任何一种提供的测量规管（→64）或其它适当的传感器和控制阀。 压强传感器将一个连续的压强讯号（0-10伏直流）送至VCC500。 VCC500将压强讯号（工作值）与标定压强比较，并操纵控制阀补偿被控制过程的动态特性。这就是说，工作值应尽快达到设点（标定值）而摆动尽可能小。设点（标定值）可在压强控制器上手动输入或由外控制系统馈入。 控制模式 VCC500可工作于两种控制模式： SID： 采用可变流量（上游控制）控制压强： 控制阀调节真空系统的气体注入。当真空系统中的压强上升时阀门盖板往关闭方向运动。 INV： 采用可变通导（下游控制）控制压强： 控制阀调节真空系统的气体通量。当真空系统中的压强上升时阀门盖板往开启方向运动。 控制类型 VCC500有两种控制类型： 自动： 自动是PI（正比/积分）控制类型控制速度1...99（1 =99 = 快）。这种控制类型用于过程的快