印刷制版用的光刻胶.pdfVIP

2011年第11期 化学教育 知硬介缓 印刷制版用的光刻胶。 邹云飞王明召“ (北京师范大学化学学院100875) 摘要介绍现代印刷制版所用光刻胶，着重介绍正性光刻胶的感光机理，对负性光刻胶和免 处理光刻胶的基础知识进行了扼要介绍。可作为高中化学阅读材料，供一线教师选用。 关键词 高中化学 阅读材料光刻胶 感光机理 印刷制版重氮萘醌 将一种材料均匀涂布在底板上，表面覆盖掩膜， 1．1分子间氢键作用机理 经紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等 早期的分子间氢键作用机理‘1’23得到了较多人 光源的照射或辐射，曝光区与非曝光区的溶解性产生 认可。该机理认为，感光前，酚醛树脂的羟基与重 显著差异。曝过光的底片或相纸用药液处理显出影像 氮萘醌通过氢键作用(如图1所示)，形成了稳定 (称为显影)后，底板表面呈现出与掩膜一致或相反 的6元环结构，因此不溶于碱水。 的图形。这种材料就是光刻胶(又称光致抗蚀剂)， 这个过程称为制版。光刻胶可分为两类：一类是正性 酚醛树脂 光刻胶，其曝光部分可溶，非曝光部分不溶，形成的 图像与掩膜相同；另一类是负性光刻胶，其曝光部分 键 不溶，非曝光部分可溶，形成的图像与掩膜相反。 1正性光刻胶 最氮荣醌 正性光刻胶因其高反差、不溶胀和非有机溶剂 圈l重氮桑醌系正性光刻胶分子间氢键作用 显影等优点，被广泛应用于印刷、电子及精密加工 曝光时，如图2所示，重氮萘醌先失去1分子 等领域。典型正性光刻胶的有效成分是线性酚醛树 氮，并迅速重排成烯酮，然后转变成茚羧酸，上述 脂、重氮萘醌类感光化合物。那么，这些物质在曝 6元环结构被破坏。茚羧酸遇碱水生成茚羧酸盐而 光时发生了什么变化使得曝光区与非曝光区的溶解 溶解，酚醛树脂本身就是可溶于碱水的，这样曝光 性产生了显著差异呢?对于这个问题，学者们有着 部分都溶解了，留下与掩膜相同的图像。 不同的认识， 衲 O 枷一札 占人，)鲁人 ～狡 岛分f母体 一孜哪笈 似 ／=＼b 甲受．甲硬西／岛分于母体 图2重氮蔡醌的光分解过程示意图 1．2新的酚醛树脂分子溶解模型 近的苯酚羟基中的氢原子，形成又1个氢键。这种 效应可以延伸到更远的酚羟基上，形成苯酚串，阻 Reiser后来提出的这种机理认为[3“]，重氮萘 醌分子中的S=O键极性非常强，感光前它与临近 止酚醛树脂和重氮萘醌溶于碱水。 酚醛树脂的苯酚羟基。一H发生较强的氢键作用 l (见图3)。氢键作用使该酚羟基的极性增强，使它 o一产驴～H一叮…H一气…‘H—R…H—R