用于真空镀膜E型电子枪快速自动灭弧高频开关电源专利产品投入市场.pdfVIP

SooPAT 用于真空镀膜电子枪高压电源系 统自动灭弧系统 申请号：201520550959.2 申请日：2015-07-24 申请(专利权)人佛山市绿系真空科技有限公司 地址 528000 广东省佛山市南海区大沥镇岭南路85号广佛智城4号 楼第8层第4802单元(仅作办公用途) 发明(设计)人孔胜枝 主分类号 H02H7/125(2006.01)I 分类号 H02H7/125(2006.01)I 公开(公告)号204992544U 公开(公告)日2016-01-20 专利代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 肖平安 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 204992544 U (45)授权公告日 2016.01.20 (21)申请号 201520550959.2 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2015.07.24 (73)专利权人 佛山市绿系真空科技有限公司 地址 528000 广东省佛山市南海区大沥镇岭 南路85号广佛智城4号楼第8层第 4802单元（仅作办公用途） (72)发明人 孔胜枝 (74)专利代理机构 北京科亿知识产权代理事务 所(普通合伙) 11350 代理人 肖平安 (51)Int.Cl. H02H 7/125 (2006.01) H02H 3/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 (54)实用新型名称 用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧 系统 (57)摘要 本实用新型提供一种可以有效降低产品体积 和重量、工作稳定可靠且灭弧效果良好的用于真 空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧系统，其括 分别独自与三个输入端电性相连的三组低频整流 模块、与每一组该低频整流模块电性相连的高频 功率驱动模块、与该高频功率驱动模块电性相连 的高频变压器、与该高频变压器电性相连的高频 整流和电压叠加及储能模块以及设置于所述高频 功率驱动模块和高频变压器之间的灭弧反馈模块 和稳压反馈模块；为了使得真空镀膜电子枪自动 灭弧高压电源系统的体积和重量减少，本方案使 用高频变压器作为电压变换，由于高频变压器工 作处于高频状态，功率密度大，效率高，从而能够 U 很好的解决现有的电源体积大、笨重且效率低下 4 4 的问题。 5 2 9 9 4 0 2 N C CN 204992544 U 权 利 要 求 书 1/1页 1.用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧系统，其特征在于：包括分别独自与三 相输入端电性相连的三组低频整流模块、与每一组该低频整流模块电性相连的高频功率驱 动模块、与该高频功率驱动模块电性相连的高频变压器、与该高频变压器电性相连的高频 整流和储能模块以及设置于所述高频功率驱动模块和高频变压器之间的灭弧反馈模块和 稳压反馈模块，其中所述灭弧反馈模块和稳压反馈模块还通过设置有的用于调制高频高压 电的脉宽调制器与所述高频功率驱动模块相连。 2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜电子枪高