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基于遗传算法透射光谱法测量薄膜光学参数 　　摘要： 基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型，并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型，进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性，按照实际的精度需求，有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数，并且针对透射光谱的具体情况，设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明，基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数 关键词： 透射光谱； 薄膜光学参数； 遗传算法 中图分类号： TN 20文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2016.06.013 Abstract： Mathematic model of the transmitted spectrum of thin films was established by multibeam interference theory.The relationship of transmittance，thickness and refractive index was built. Then the mathematic model could be solved with the genetic algorithm. In consideration of the special character of the optical film value of key parameters of genetic algorithm would be a special choice. Key parameters included population size crossover probability and mutation probability. Fitness function was designed to be discretized. Finally the fitting results proved that the method could calculate the parameters of optical films at the same time. Keywords： transmitted spectrum； thin film optical parameters； genetic algorithm 引言 ?S着现代光学技术的发展，光学薄膜成为提高各种光学元器件性能的一种重要手段。近几年新的薄膜技术的国家标准相应出台[1]，也使薄膜参数的检测方法受到更多的重视。目前，制备光学薄膜的主要工艺包括：物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和溶胶凝胶法等。物理气相沉积主要包括：热蒸发、溅射、离子镀等[2] 现有的薄膜参数测试方法很难同时测量薄膜的各个参数。测量薄膜厚度的常用仪器有：台阶仪、椭偏仪[3]。台阶仪通过金属探针在样品表面划动，检测出台阶状薄膜表面的高度差，因有物理接触会划伤样品表面，而且必须在样品表面构建台阶结构。椭偏仪通过测试透射的偏振光的偏振性变化，可以得到样品的厚度，虽然精度较高，但是需要已知材料的折射率。测量薄膜材料的折射率可以通过薄膜波导法，在一定的波长范围内，通过导模的泄露模虽然可以测得某确定波长的折射率和大致的薄膜厚度，但是需要薄膜的厚度达到一定的条件，并且只能测试某些特定波长的折射率。传统的光谱法测量薄膜的材料色散曲线，需要在已知薄膜厚度的情况下，通过单纯性法迭代优化后才能得到相应的折射率与波长的曲线模型[47]。在某些特殊情况下的薄膜透射光谱中，单纯性法并不能准确获得足够数量或者足够明确的极值点的数量，从而不能完成对薄膜参数的迭代测量 面对生产加工中的实际需求，需要获得一种高精度的、快速方便的测量方法，同时获得所需光学薄膜的厚度、折射率波长曲线，尤其是针对某些不能通过预先测量获得折射率的薄膜 1氧化物薄膜制备及光谱测试 本实验利用镀膜技术制备了多种常用薄膜材料。采用了OPTORUN的800式镀膜机，以厚度为3 mm的同一批次生产的K 9光学玻璃作为衬底，制作了多种薄膜材料样品。本文以氟化镁（MgF2）薄膜为例，由PE公司的Lambda1050紫外可见近红外分光光度计测得氟化镁薄膜透射光谱，如图1所示 2理论计算 2.1透射光谱模型建立 利用多光束叠加的原理推导单层薄膜的透射光谱[8]。多光束干涉的示意图如图2所示。光波E0入射到第一层薄膜，反射光E1、E2、E3、…在无穷远处发生干涉，同理透射光E′1、E′2、E′3、…在无穷远处发生干涉。其中入射介质为空气，其折射率nk