传感器与微器件的应用、前景和发展总的来讲，MEMS 器件的市场发展 ....PDFVIP

传感器与微器件的应用、前景和发展 总的来讲，MEMS 器件的市场发展趋势是乐观的。几位文献 作者指出：到2000 年，所有 微器件的市场合计将达 120 亿〜130 亿美元。Ristic 等人(1994)预测到20(H)年，传感器的市 场总颔(不 仅仅是微制造器件)将达到 130 亿美元。对于那些对微机械加工感 兴趣的人来说， 关键的问题是市场总额的组成及各自的比例。他 们解释说：增长主要來自今后对“硅传感器 技术” 的开发。 系统规划公司(SPC) (1994)的市场研究预测，到 2000 年，仅 MEMS 市场就将增至 139 亿美元。与Ristic 等(1994)的预测相比， 虽然他们考虑的器件范围有所不同，Ristic 等 (1994)只考虑包含微 传感器在内的传感器;而 SPC(1994)只考虑微器件，其中包含执行 器，但结论相近，并且都相当乐观。Petersen (1 抑6a)的预测是： 器件销售類为26 亿美元，能够带动210 亿美元的系统销售额。虽 然数字很小，但其意义重大。与此类似，Brpek (1996)提供了更为 保守的估计——到2005 年，撖器件的市场总额约为 105 亿美元。 Bryzek 同时指出，从第一个样品到大批量的销售，中间一般要相 隔10 到20 年的时间，以上的预测 都是在这个基础上做出的。 就传感器市场的划分，许多专家认为：在今后几年，汽车方面 的应用将占市场的主要部 分。前面提到的Ristic 和SPC 对市场的 划分不同，Ristic 等(1994)是按应用的领域来划分， 而SPC (1994) 是按器件类型。不论哪种划分方法，一次性器件市场( 比如医用器 件市场) 的增长相对较快。 一个关键点是微传感器与执行器构成了使能技术，其最大的支 配能力来源于对系统价值的使能与附加。上面提及的 SPC 报告估 计 或许有些乐观h 到2000 年，微器件的年销售将 达130 亿美元， 这会带动近 1000 亿美元的年销售。然而，把使能技犬视为一项重 要技术时, 诸如注模技术、电路印制版技术、黏结技术等也有可能 被看做是使能技术。“使能技术”这 概念的进一步讨论有些学术气， 但这种讨论无疑会继续进行下去。 微型传感器与执行器的市场仍在不断开展，但并没有像70 年 代集成电路市场那样形成爆 发性增长。有些人喜欢将这两种市场 进行比较，但实际上并没有什么意义，因为在微机械中 并没有像 MOS 电路这样的支撑技术(MOS 电路在很大程度上促成了数字电 子1:业的指数增 长)D 或许将微机械加工比做模拟集成电路更合适 一些，模拟集成电路当然也是一坤使能技 术，但就市场容量而言， 与存储器、微处理器等数字电路比起来还相去甚远。但时间终会证 实，这类技术是多么重要。 现在，在此领域的许多工作都集中在表面微机械加工上，如在 衬底上制造薄谟结构，“微 机械加工技术一章将对此作详细叙述。 但在工业界销售的绝大部分器件是用较旧的体微机 械加工技术制 造的。虽然表面微器件现在也在批量生产，但要对市场产生巨大影 响还窬几年。 至少在短期内，哪种方法都不可能主宰市场。市场 将继续由这两种方法制造的新器件共同占 有，它们都能实现电路 的集成。有关微制造器件开发的一个有趣而重要的问题是：从概念 到 成批生产销售之间的孵化期常常超过十年，这就使过于依赖技 术预测而对市场作出的判断很 可能超前。 有许多以微传感器与执行器为中心议题的会议。4 下是一些最 知名的会议： 态传感器与拭行器研讨会(^So!if 丨Sensor anti Actuator Workshop) * 或你“ Hiiton Head”(Jl ：美范围的小型会议，在 HikonHead, SC 举行T 限制参加人数。隔年开，比如 1992, 1994、 1996……) 因态传感器与执行器会(International Conference on Soljd-Stale Strj.sors find Ac 丨un-tonO 或称：“ rsduceW (大型国际 会议，在亚洲、北美或欧洲举隔年召开，比如1 叫t 、?993、1995……)。