能量色散X射线荧光光谱仪的现状.PDFVIP

现代仪器() 二○○八年·第五期 能量色散X射线荧光光谱仪的现状 张林艳 戴挺 （东南大学材料科学与工程系 南京 211189） 摘  要  能量色散X 射线荧光光谱分析以其快速、对试样无损、可以同时测定多种元素 等优点，在许多领域中发挥巨大的作用。本文介绍能量色散X 射线荧光光谱仪的原理和 构造，并就目前仪器的研究现状和应用现状做介绍，指出X 射线荧光分析技术的良好前 景及进一步研究该仪器的必要性。 关键词  光谱分析 能量色散X 射线荧光光谱仪 X 射线荧光 分析技术 跃迁。当较外层电子跃入空位时，所释放的能量随 引 言 即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光 自1969 年研制成功第一台能量色散 X 射线荧 电子 ( 即俄歇 电子 ) ，发生非辐射跃迁。当较外层 光 （EDXRF ）光谱仪以来，随着电子技术和计算 电子跃入 内层空位所释放的能量不在原子内被吸 机的飞速发展，X 射线荧光分析技术及其计算机软 收，而以辐射形式放出，便产生 X 射线荧光，其 件的不断开发，使得 EDXRF 光谱仪发展逐步完善， 能量等于两能级之间的能量差。电子跃迁遵守选择 无论是硬件还是软件的开发与波长色散 X 射线荧 定则，角量子数相差 ±1 的电子跃迁都是允许的。 光 （WDXRF ）光谱仪基本同步。 由其它激发态跃入 K 层空位的辐射产生 K 系辐射， 由于能量色散 X 射线荧光分析法的最大优点 同理依次可得出L 系辐射 ( 见图2) 。 是可以同时测定样品中几乎所有的元素，并具有分 析速度快、准确度高、重现性好、对试样无损坏、 不污染环境及低耗等优点，广泛用于地质、冶金、 化工、材料、石油、医疗、考古等诸多领域，特别 是在现场或在线分析 中能实时获取多种数据的特 点，能量色散 X 射线荧光光谱仪已成为一种强有 力的定性和精确定量的分析测试技术。 图2 产生K系和L系辐射示意图 根据 Moseley 定律，荧光 X 射线的波长 与 λ 1 原理及构造 元素的原子序数 Z 有关，关系式为 1.1 原理 =K( -S)-2 （1） λ Z 1.1.1  X 射线荧光的产生 当能量高于原子内层 其中，K 和 S 是常数。并结合光子能量计算公式 电子结合能的高能 X 射线光子与原子发生碰撞时， =h =hC/ （2 ） E ν λ 驱逐一个内层 电子而出现一个空位，使整个原子体 其中，为X 射线光子的能量，h 为普朗克常数， E 系处于不稳定的激发态。激发态原子寿命约为 10-12~ λ为光波的频率，C 为光速。 可知，只要测出荧光 10-14s ，将 自发地由能量高的状态跃迁到低的状态， X 射线的波长或能量，就可以知道元素的种类，并 这个过程称为弛豫